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基于光學相控陣理論和鈦擴散鈮酸鋰光波導的導模特性，提出了一種新型陣列集成光波導應用于光學相控。根據光束傳輸法（BPM），并結合現有半導體工藝水平及參數，對該陣列波導的導光特性，損耗特性以及耦合特性進行了仿真計算，最終給出了相控陣的結構設計參數。結果表明，應用該集成陣列波導的光學相控陣結構可實現光束連續(xù)精確定向偏轉，偏轉角度可達依4.5毅，相位控制半波電壓小于 6 V，其系統(tǒng)光學控制單元損耗低且響應速度快。
光學相控陣是基于微波相控陣理論發(fā)展起來的新型光束指向控制技術遙其核心部件之一是光學相位控制器件袁近年來被廣泛研究的主要有采用壓電陶瓷型的光纖延遲線［1］堯液晶陣列移相器［2］堯波導型電光移相器［3］等遙 隨著半導體工藝的不斷發(fā)展袁以電光晶體作為相位控制器件日趨成熟袁該器件是利用電光晶體的雙折射效應袁通過改變加載在不同單元電壓實現相位控制袁具有快速堯靈活堯高精度等優(yōu)點［4］袁是當前研究的熱點遙 在光學相控陣中袁通過控制相鄰光束的相位差就可以實現合成光束定向偏轉遙目前袁國內外常見的光學相控陣均基于規(guī)則相控陣理論袁 而相控陣中單元間距限制了掃描范圍和掃描精度袁為了縮小相控陣單元間距袁基于不同材料和結構的波導型相控陣不斷被提出和證實［3，5］遙 這種方法雖然有效地提高了占空比袁但是相鄰單元間的串擾卻影響了掃描精度遙。
光波導
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