超精密光學3D測量儀器具有高精度、自動化程度高、實時反饋和范圍廣等優(yōu)勢。它能夠?qū)崿F(xiàn)微米級別的精確測量，能夠精確測量產(chǎn)品的尺寸、形狀和表面粗糙度等，具有廣泛的應用價值和重要意義。

中圖儀器超精密3D光學測量儀器結(jié)合鏡頭防撞保護技術(shù)、精密雙重隔振技術(shù)以及環(huán)境噪聲評價技術(shù)，具有高精度、自動化程度高、實時反饋和范圍廣等優(yōu)勢，可以實現(xiàn)自動化測量和高效調(diào)整，可對精密零部件的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實現(xiàn)微納級測量，提高加工的準確性和效率的同時檢測加工過程中的質(zhì)量控制，確保零部件質(zhì)量達標。在微納米結(jié)構(gòu)檢測中有著重要意義。
1、SuperViewW系列光學3D表面輪廓儀超越0.1nm的縱向分辨能力，讓顯微形貌分毫畢現(xiàn)；優(yōu)于0.1%的臺階測量重復性，讓測量數(shù)據(jù)萬千如一?？蓽y反射率：覆蓋近0%~100%的表面反射率。

2、VT6000系列共聚焦顯微鏡尖銳傾角形貌測量能力，讓復雜結(jié)構(gòu)清晰明了；二維影像尺寸測量，平面輪廓尺寸自動計算。

高端制造業(yè)中，中圖儀器通用性超精密3D光學測量儀器能做什么？
1、半導體-鐳射槽

2、超精密加工-微透鏡陣列

3、光學加工-超光滑球面

4、摩擦學-金屬腐蝕摩擦

5、拋光研磨-超光滑表面

6、汽配行業(yè)-零部件端面

7、顯示行業(yè)-光學膜片

8、光伏行業(yè)-太陽能電池片