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      掩模曝光劑量的精細控制工藝設計

      2009-12-21 | rar | 444 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      掩模曝光劑量的精細控制工藝設計　
      胡廣榮 李文石
      (蘇州大學 電子信息學院 微電子學系，江蘇 蘇州 215021)
      摘要：本文從光學鄰近效應的機理出發(fā), 基于區(qū)域劃分掩模特征線條，實施曝光劑量控制，從而達到光學鄰近效應的精細校正。通過模擬測試圖形得到改進后的掩模圖形畸變率，與傳統(tǒng)曝光劑量校正法相比，減少了約4%。
      關鍵詞: 光學鄰近效應校正, 特征線條區(qū)域劃分, 圖形畸變率
      工藝設計
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