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微操作手是微操作機(jī)器人的重要組成部分,首先介紹了國(guó)內(nèi)外研制的幾種典型微操作手。在此基礎(chǔ)上,對(duì)于微操作手的關(guān)鍵技術(shù),從機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)、傳感、檢測(cè)幾個(gè)方面進(jìn)行了論述,在機(jī)構(gòu)上,介紹了微位移定位機(jī)構(gòu)的特點(diǎn);在驅(qū)動(dòng)方式上,論述了壓電陶瓷的驅(qū)動(dòng)方法;在微位移檢測(cè)上,介紹了幾種納米微位移檢測(cè)手段。最后,闡述了微操作手的發(fā)展趨勢(shì):微型化、集成化、智能化,達(dá)到納米級(jí)或更高的定位精度。
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