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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電源技術(shù)>基于磷擴(kuò)散薄層電阻提升方法

      基于磷擴(kuò)散薄層電阻提升方法

      2017-11-09 | rar | 1.29 MB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      　　針對(duì)光伏工業(yè)界對(duì)磷擴(kuò)散薄層電阻不斷提升的需求，采用了在磷擴(kuò)散工藝氣氛中增加水汽的方法進(jìn)行磷源擴(kuò)散制備高薄層電阻，并通過(guò)實(shí)驗(yàn)對(duì)比兩種擴(kuò)散氣氛下的摻雜濃度，少子壽命等袁征。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：在相同薄層電阻條件下，水汽氣氛下?lián)诫s劑的表面濃度降低，耗盡層的復(fù)合率減小，間隙態(tài)的金屬雜質(zhì)濃度降低，硅基體的少子壽命從6.27Vs提升至7.16pdS。由于摻雜劑濃度分布得到改善，降低了硅片的表面復(fù)合率和結(jié)區(qū)光生載流子的俄歇復(fù)合，使得水汽氣氛擴(kuò)散后硅片制備的太陽(yáng)電池，光電轉(zhuǎn)換效率提升0.1%。
      ?

      電阻
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