介紹了非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池和支撐設(shè)備的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀和市場(chǎng)情況，針對(duì)我國(guó)薄膜太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)的需求情況，探討了發(fā)展薄膜太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)的途徑。太陽(yáng)能光伏發(fā)電技術(shù)作為太陽(yáng)能利用中最具意義的技術(shù)，成為世界各國(guó)競(jìng)相研究應(yīng)用的熱點(diǎn)。最近 10 年以每年平均 30％的速度遞增。目前，光伏電池仍然是以晶體硅光伏電池為主，市場(chǎng)份額達(dá) 90％，其次是非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池發(fā)展迅速，市場(chǎng)份額占到 6％～7％。

　非晶硅薄膜光伏電池的特點(diǎn)

　　一是材料和制造工藝成本低。這是因?yàn)橐r底材料（如玻璃、不銹鋼、塑料等）價(jià)格低廉。硅薄膜厚度不到 1 μm，昂貴的純硅材料用量很少。制作工藝為低溫工藝（100 ℃～300 ℃），生產(chǎn)過(guò)程中耗電量小，能量回收時(shí)間短。

　　二是易于形成大規(guī)模生產(chǎn)能力。這是因?yàn)楹诵墓に囘m合制作特大面積無(wú)結(jié)構(gòu)缺陷的 a－Si 合金薄膜；只需改變氣相成分或者氣體流量便可實(shí)現(xiàn) pn 結(jié)以及相應(yīng)的迭層結(jié)構(gòu)；生產(chǎn)過(guò)程可實(shí)現(xiàn)全流程自動(dòng)化。

　　三是品種多，用途廣。薄膜的 a－Si 太陽(yáng)電池易于實(shí)現(xiàn)集成化，器件功率、輸出電壓、輸出電流都可自由設(shè)計(jì)，可以較方便地制作出適合不同需求的品種較多的產(chǎn)品。