ESA（Electro Static Attraction）靜電吸附

　　我們知道IC生產(chǎn)工藝要求的是潔凈車間或超凈車間。但國(guó)內(nèi)很少有廠家能做到無塵室里一粒particle都沒有，現(xiàn)在要求灰塵顆粒粒徑由原來的0.3μm降低到現(xiàn)在的0.1μm，但如果吸附的灰塵粒子的粒徑大于線條寬度時(shí)，很容易使產(chǎn)品報(bào)廢。

　　有時(shí)候客戶會(huì)問，我們生產(chǎn)晶片的整道工序靜電防護(hù)做的很好，該接地的都接了，要用的防靜電設(shè)備也用了，而且凈化等級(jí)做的也很高，為什么放置一段時(shí)間后還會(huì)吸灰呢？那是因?yàn)樯a(chǎn)加工晶片的機(jī)臺(tái)或工作車間都裝有FFU高效過濾器，當(dāng)氣流與產(chǎn)品進(jìn)行摩擦后就會(huì)產(chǎn)生靜電，靜電累積到一定量的時(shí)候就會(huì)吸附灰塵。所以我們建議在高效過濾器下端裝不帶氣源的靜電消除器來保證整個(gè)空間的動(dòng)態(tài)平衡。

　　ESD（Electro Static Discharge）靜電放電

　　靜電放電是電荷積累的過程，當(dāng)電荷積累到一定的程度，有個(gè)導(dǎo)體接近它就會(huì)產(chǎn)生靜電放電。舉個(gè)很簡(jiǎn)單的例子，在干燥的冬季，人走動(dòng)、摩擦后很容易積聚靜電，當(dāng)我們碰到金屬把手或開汽車門的時(shí)候會(huì)有觸電的感覺，這就是靜電放電，一般人體帶有3000-5000V的靜電時(shí)就會(huì)有明顯放電的感覺。

　　半導(dǎo)體元器件也是同樣的道理，如果帶有一定靜電量的半導(dǎo)體器件單獨(dú)放置或裝入電路模塊時(shí)，它馬上就會(huì)被擊穿。器件受到靜電放電的影響后，有可能不會(huì)立即出現(xiàn)功能性的損壞，但會(huì)影響元器件的可靠性。

　　靜電放電造成的損失每年可達(dá)到幾十億美元以上。因此，許多大型的元件和設(shè)備制造廠引進(jìn)專業(yè)技術(shù)以減小生產(chǎn)環(huán)境中的靜電積累。

　　EMI（Electro Magnetic Interference）電子干擾