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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子資料>厚硅片的高速激光切片研究

      厚硅片的高速激光切片研究

      2021-04-09 | rar | 0.91 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　基于激光切片原理的分析，給出了厚硅片的高速激光切片方法，采用平凸腔補償工作物質(zhì)的熱透鏡效應(yīng)，利用 Ｎｄ∶ＹＡＧ棒本身的自孔徑選模作用，獲得了光束質(zhì)量因子 犕２ 等于４．１９的５０Ｗ１．０６４μｍ 激光輸出。選取合適的擴束倍數(shù)、重復(fù)頻率和出氣孔直徑，當(dāng)切割０．７５ｍｍ 厚的硅片時，切片速度達(dá)４００ｍｍ／ｍｉｎ；當(dāng)切割兩層疊放的０．７５ｍｍ 厚的硅片時，切片速度達(dá)到１００ｍｍ／ｍｉｎ。切片的切口光滑，切縫較窄，重復(fù)精度高，切片質(zhì)量好，達(dá)到用傳統(tǒng)方法難以達(dá)到的切片效果。

      半導(dǎo)體 激光 硅片
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