資料介紹
玻璃基離子交換型多模光分路器芯片主要制作方法是通過(guò)鍍膜、光刻工藝在玻璃基片表面的鍍膜層刻下設(shè)計(jì)好的器件圖形,然后通過(guò)離子交換在玻璃基片內(nèi)部形成與圖形相吻合的折射率變化區(qū),進(jìn)而構(gòu)成具有光學(xué)功能的光波導(dǎo)器件芯片,經(jīng)過(guò)封裝,成為多模光分路器。與熔融拉錐多模光分路器相比,玻璃基離子交換型多模光分路器具有的優(yōu)點(diǎn)是體積小巧,集成化批量生產(chǎn), 波長(zhǎng)不敏感,可以是1×4以上的多分支多模器件。
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