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簡(jiǎn)介：靜電探針又稱langrnuir 探針，是一種用來進(jìn)行等離子體參數(shù)測(cè)量的基本的診斷工具，通過靜電探針的，I-V 特性曲線可以計(jì)算出等離子體的電子溫度、密度、空間電位和懸浮電位等重要參數(shù)。靜電探針，I-V 特性曲線如圖1 所示。目前，隨著等離子體在對(duì)金屬、微電子、聚合物改性，聚合、生物功能材料相容性處理，低溫殺毒以及空間技術(shù)等諸多領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用。開展靜電探針自動(dòng)測(cè)量技術(shù)的研究開發(fā)工作，對(duì)提高等離子體應(yīng)用研究工作的效率具有一定的促進(jìn)作用。本文介紹的自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)是以單片機(jī)為核心，采用A/D 和D/A 技術(shù)，能夠快速、準(zhǔn)確地給出靜電探針I(yè)-V 特性曲線。
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