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分別以丙醇鋯和正硅酸乙酯為原料，采用溶膠-凝膠工藝制備了性能穩(wěn)定的ZrO2和SiO2溶膠。用旋轉(zhuǎn)鍍膜法在K9玻璃上分別制備了SiO2單層膜、ZrO2單層膜和ZrO2/SiO2/ZrO2三層膜。采用橢偏儀測量薄膜的厚度與折射率，用紫外-可見分光光度計測量了薄膜的透過率，利用TFCalc_Demo模系設(shè)計軟件，采用三層理論模型對薄膜的透過率進(jìn)行模擬，用掃描電鏡(SEM)觀察了三層膜的斷面結(jié)構(gòu)，用X射線光電子能譜儀(XPS)測量了薄膜的成分隨深度方向的變化，進(jìn)一步驗證了ZrO2/SiO2/ZrO2三層膜之間的滲透關(guān)系，同時對多層膜的界面結(jié)構(gòu)探測方法起到了借鑒作用。
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