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      高精度光刻機(jī)在大規(guī)模集成電路上的應(yīng)用

      2011-10-28 | pdf | 779 KB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

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      微細(xì)圖形加工技術(shù)是集成電路向高集成化發(fā)展的關(guān)鍵, 其中圖形曝光對(duì)準(zhǔn)是很主要的。由于接觸式光刻機(jī)的精度高、設(shè)備造價(jià)低, 所以在集成電路制造中被廣泛采用。但是, 隨著大規(guī)模集成電路不斷向高集成化、微細(xì)化發(fā)展又出現(xiàn)了各種問(wèn)題。
      集成電路 光刻機(jī)
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