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      紅外發(fā)光顯微鏡在集成電路失效分析中的應(yīng)用

      2012-03-15 | rar | 941 KB | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      本文介紹了半導(dǎo)體的發(fā)光機(jī)理,紅外發(fā)光顯微鏡的基本結(jié)構(gòu)、主要部件及技術(shù)特點(diǎn)。通過(guò)對(duì)兩個(gè)IC失效樣品的分析實(shí)例,介紹紅外發(fā)光顯微鏡及其補(bǔ)充技術(shù)——激光束誘導(dǎo)電阻率變化測(cè)試技術(shù)在IC失效分析中的具體應(yīng)用。
      集成電路 顯微鏡 失效分析
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