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      擴(kuò)散硅絕對(duì)壓力傳感器的工作原理與結(jié)構(gòu)及補(bǔ)償方法的詳細(xì)資料研究

      2020-03-11 | pdf | 0.10 MB | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      　　本文簡(jiǎn)要介紹了擴(kuò)散硅絕對(duì)壓力傳感器的工作原理與結(jié)構(gòu)， 重點(diǎn)分析了傳感器的零位溫度系YJ數(shù)與靈敏度溫度系數(shù)及其溫度補(bǔ)償?shù)姆椒ǎ?解決了此類傳感器的穩(wěn)定性問(wèn)題。

      半導(dǎo)體 壓力傳感器
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