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基于運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)的非球面測(cè)量系統(tǒng):為滿足非球面光學(xué)元件表面精度的測(cè)量要求,設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)了一種高效數(shù)控非球面測(cè)量系統(tǒng). 系統(tǒng)基于運(yùn)動(dòng)控制技術(shù),構(gòu)建了四軸聯(lián)動(dòng)的測(cè)量工作平臺(tái). 根據(jù)數(shù)據(jù)采集原理,實(shí)現(xiàn)對(duì)非球面工件表面形位參數(shù)進(jìn)行連續(xù)采樣. 整個(gè)系統(tǒng)采用工控微機(jī)作為上位機(jī)非實(shí)時(shí)控制,下位機(jī)采用高速DSP 進(jìn)行實(shí)時(shí)控制. 在Windows 操作系統(tǒng)下,用Visaul C + + 開發(fā)工具完成了測(cè)量系統(tǒng)的軟件開發(fā). 最后通過實(shí)驗(yàn)對(duì)測(cè)量系統(tǒng)的穩(wěn)定性及其誤差進(jìn)行了分析. 實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,系統(tǒng)行程為100～120 mm ,系統(tǒng)誤差小于5μm ,能滿足普通光學(xué)非球面元件測(cè)量精度的要求,同時(shí)系統(tǒng)體現(xiàn)了較好的通用性和可靠性.
關(guān)鍵詞: 運(yùn)動(dòng)控制;非球面;測(cè)量系統(tǒng);開放式數(shù)控
關(guān)鍵詞: 運(yùn)動(dòng)控制;非球面;測(cè)量系統(tǒng);開放式數(shù)控
控制技術(shù)
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