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標簽 > 光刻膠
光刻膠(Photoresist)又稱光致抗蝕劑,是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。由感光樹脂、增感劑和溶劑3種主要成分組成的對光敏感的混合液體。
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飛秒激光直寫(FsLDW)技術(shù)憑借納米級分辨率、三維結(jié)構(gòu)加工能力成為微透鏡制備的核心技術(shù),而溶膠-凝膠基光刻膠兼具有機材料的設(shè)計靈活性與無機材料的高穩(wěn)定...
光刻膠涂層如何實現(xiàn)納米級均勻性?橢偏儀的工藝控制與缺陷分析
光刻膠(亦稱光致抗蝕劑)是集成電路制造中的關(guān)鍵材料,其純度直接決定光刻圖形的質(zhì)量與芯片良率。隨著光刻技術(shù)向極紫外(EUV,13.5?nm)工藝節(jié)點演進,...
半導體芯片制造核心材料“光刻膠(Photoresist)”的詳解
在芯片制造這場微觀世界的雕刻盛宴中,光刻膠(PR)如同一位技藝精湛的工匠手中的隱形畫筆,在硅片這片“晶圓畫布”上勾勒出億萬個晶體管組成的復雜電路。然而,...
提高光刻膠殘留清洗效率需要結(jié)合工藝優(yōu)化、設(shè)備升級和材料創(chuàng)新等多方面策略,以下是具體方法及技術(shù)要點:1.工藝參數(shù)精準控制動態(tài)調(diào)整化學配方根據(jù)殘留類型(正膠...
在芯片制造領(lǐng)域的光刻工藝中,光刻膠旋涂是不可或缺的基石環(huán)節(jié),而保障光刻膠旋涂的厚度是電路圖案精度的前提。優(yōu)可測薄膜厚度測量儀AF系列憑借高精度、高速度的...
半導體材料介紹 | 光刻膠及生產(chǎn)工藝重點企業(yè)
光刻膠(Photoresist)又稱光致抗蝕劑,是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。由感光樹脂、增...
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/黃山明)如果對半導體產(chǎn)業(yè)有興趣的話,一定對光刻膠(Photoresist)略有耳聞,這是一種對光敏感的高分子材料,廣泛應用于微電子...
2026-01-13 標簽:光刻膠 2.3k 0
電子發(fā)燒友網(wǎng)綜合報道 在芯片制造領(lǐng)域,光刻膠用光引發(fā)劑長期被美日韓企業(yè)壟斷,成為制約我國半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵“卡脖子”技術(shù)。近日,這一局面被打破——湖北...
2025-12-17 標簽:光刻膠 6.4k 0
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/黃山明)芯片,一直被譽為 人類智慧、工程協(xié)作與精密制造的集大成者 ,而制造芯片的重要設(shè)備光刻機就是 雕刻這個結(jié)晶的 “ 神之手 ”...
國產(chǎn)光刻膠重磅突破:攻克5nm芯片制造關(guān)鍵難題
電子發(fā)燒友網(wǎng)綜合報道 近日,我國半導體材料領(lǐng)域迎來重大突破。北京大學化學與分子工程學院彭海琳教授團隊及合作者通過冷凍電子斷層掃描技術(shù),首次在原位狀態(tài)下解...
2025-10-27 標簽:光刻膠 6.8k 0
從光固化到半導體材料:久日新材的光刻膠國產(chǎn)替代之路
當您尋找可靠的國產(chǎn)半導體材料供應商時,一家在光刻膠領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)全產(chǎn)業(yè)鏈突破的企業(yè)正脫穎而出——久日新材(688199.SH)。這家光引發(fā)劑巨頭,正以令人矚目...
國產(chǎn)百噸級KrF光刻膠樹脂產(chǎn)線正式投產(chǎn)
? 電子發(fā)燒友網(wǎng)綜合報道 近日,八億時空宣布其KrF光刻膠萬噸級半導體制程高自動化研發(fā)/量產(chǎn)雙產(chǎn)線順利建成,標志著我國在中高端光刻膠領(lǐng)域的自主化進程邁出...
? 電子發(fā)燒友網(wǎng)綜合報道 光刻膠作為芯片制造光刻環(huán)節(jié)的核心耗材,尤其高端材料長期被日美巨頭壟斷,國外企業(yè)對原料和配方高度保密,我國九成以上光刻膠依賴進口...
光刻膠,又稱光致抗蝕劑,是一種關(guān)鍵的耐蝕劑刻薄膜材料。它在紫外光、電子束、離子束、X 射線等的照射或輻射下,溶解度會發(fā)生變化,主要應用于顯示面板、集成電...
2025-07-11 標簽:光刻膠 562 0
金屬低蝕刻率光刻膠剝離液組合物應用及白光干涉儀在光刻圖形的測量
引言 在半導體及微納制造領(lǐng)域,光刻膠剝離工藝對金屬結(jié)構(gòu)的保護至關(guān)重要。傳統(tǒng)剝離液易造成金屬過度蝕刻,影響器件性能。同時,光刻圖形的精確測量是保障工藝質(zhì)量...
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