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標(biāo)簽 > 光刻膠

光刻膠

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光刻膠(Photoresist)又稱光致抗蝕劑,是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。由感光樹脂、增感劑和溶劑3種主要成分組成的對光敏感的混合液體。

文章:339 瀏覽:31808 帖子:4

光刻膠技術(shù)

光刻膠旋轉(zhuǎn)涂膠的原因

光刻膠是一種有機(jī)化合物,它受紫外線曝光后在顯影液中的溶解度發(fā)生顯著變化,而未曝光的部分在顯影液中幾乎不溶解。

2024-04-30 標(biāo)簽:光刻膠 1.8k 0

一文讀懂半導(dǎo)體工藝制程的光刻膠

一文讀懂半導(dǎo)體工藝制程的光刻膠

光刻膠按照種類可以分為正性的、負(fù)性的。正膠受到紫外光照射的部分在顯影時(shí)被去除,負(fù)膠受到紫外光曝光的地方在顯影后被留下。

2024-04-24 標(biāo)簽:光刻膠半導(dǎo)體工藝 7.5k 0

用于2.5D與3D封裝的TSV工藝流程是什么?有哪些需要注意的問題?

用于2.5D與3D封裝的TSV工藝流程是什么?有哪些需要注意的問題?

上圖是TSV工藝的一般流程。TSV,全名Through-Silicon Via,又叫硅通孔工藝。

2024-04-17 標(biāo)簽:CMPTSV光刻膠 4.5k 0

半導(dǎo)體晶圓的制造流程

半導(dǎo)體晶圓的制造流程

在自然界中,獲取成本最低的半導(dǎo)體就是硅。而硅料的提取是熔煉砂子。提到這里可能有朋友想到“光伏電池片用的也是硅片”。

2024-04-16 標(biāo)簽:光伏電池光刻膠晶圓制造 1.9k 0

請問3D NAND如何進(jìn)行臺階刻蝕呢?

請問3D NAND如何進(jìn)行臺階刻蝕呢?

在3D NAND的制造過程中,一般會有3個工序會用到干法蝕刻,即:臺階蝕刻,channel蝕刻以及接觸孔蝕刻。

2024-04-01 標(biāo)簽:NAND光刻膠 2.7k 0

SU-8光刻膠起源、曝光、特性

SU-8光刻膠起源、曝光、特性

在紫外光照射下,三芳基碘鹽光敏劑被激活,釋放活性碘離子。這些活性碘離子與SU-8光刻膠中的丙烯酸酯單體反應(yīng),引發(fā)單體之間的交聯(lián)反應(yīng),導(dǎo)致SU-8光刻膠在...

2024-03-31 標(biāo)簽:光刻膠 9.5k 0

XeF2和SF6可以相互替換嗎?XeF2和SF6對硅腐蝕的區(qū)別?

XeF2和SF6可以相互替換嗎?XeF2和SF6對硅腐蝕的區(qū)別?

我們知道含F(xiàn)的XeF2和SF6都被當(dāng)做腐蝕硅的氣體,XeF2常被作為各向同性腐蝕硅的氣體,而SF6常和CF4搭配作為硅各向異性腐蝕的氣體,那么XeF2和...

2024-03-21 標(biāo)簽:光刻膠 3.1k 0

芯片制造工藝:光學(xué)光刻-掩膜、光刻膠

芯片制造工藝:光學(xué)光刻-掩膜、光刻膠

制造集成電路的大多數(shù)工藝區(qū)域要求100級(空氣中每立方米內(nèi)直徑大于等于0.5μm的塵埃粒子總數(shù)不超過約3500)潔凈室,在光刻區(qū)域,潔凈室要求10級或更高。

2024-03-20 標(biāo)簽:集成電路晶圓芯片制造 7k 0

關(guān)于光刻膠的關(guān)鍵參數(shù)介紹

關(guān)于光刻膠的關(guān)鍵參數(shù)介紹

與正光刻膠相比,電子束負(fù)光刻膠會形成相反的圖案?;诰酆衔锏呢?fù)型光刻膠會在聚合物鏈之間產(chǎn)生鍵或交聯(lián)。未曝光的光刻膠在顯影過程中溶解,而曝光的光刻膠則保留...

2024-03-20 標(biāo)簽:電子束光刻膠 5.6k 0

探討三種超構(gòu)器件表面的加工方法

探討三種超構(gòu)器件表面的加工方法

超構(gòu)表面是近年來出現(xiàn)一種新型的光學(xué)器件,也被稱為超構(gòu)器件。

2024-03-19 標(biāo)簽:半導(dǎo)體激光器光刻膠 2.4k 0

芯片制造工藝為什么用黃光?

芯片制造工藝為什么用黃光?

光刻是集成電路(IC或芯片)生產(chǎn)中的重要工藝之一。簡單地說,就是利用光掩模和光刻膠在基板上復(fù)制電路圖案的過程。

2024-03-18 標(biāo)簽:集成電路芯片制造光刻 4k 0

電子束光刻的參數(shù)優(yōu)化及常見問題介紹

電子束光刻的參數(shù)優(yōu)化及常見問題介紹

本文從光刻圖案設(shè)計(jì)、特征尺寸、電鏡參數(shù)優(yōu)化等方面介紹電子束光刻的參數(shù)優(yōu)化,最后介紹了一些常見問題。

2024-03-17 標(biāo)簽:繼電器探測器SEM 3.3k 0

SAW濾波器工藝流程及工作原理圖

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一個基本的SAW濾波器主要由壓電材料和兩個Interdigital Transducers(IDT)組成。IDT是聲表面波濾波器的關(guān)鍵部分,用于將電信號...

2024-03-07 標(biāo)簽:濾波器光刻膠SAW濾波器 7k 0

一文解析半導(dǎo)體設(shè)計(jì)電路的“光刻工藝”

一文解析半導(dǎo)體設(shè)計(jì)電路的“光刻工藝”

利用光刻機(jī)發(fā)出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見光后會發(fā)生性質(zhì)變化,從而使光罩上得圖形復(fù)印到薄片上,從而使薄片具有電子線路圖的作用。

2024-03-06 標(biāo)簽:集成電路光刻機(jī)光刻膠 2.7k 0

光刻膠和光刻機(jī)的區(qū)別

光刻膠是一種涂覆在半導(dǎo)體器件表面的特殊液體材料,可以通過光刻機(jī)上的模板或掩模來進(jìn)行曝光。

2024-03-04 標(biāo)簽:半導(dǎo)體材料半導(dǎo)體器件光刻機(jī) 1.0萬 0

如何在芯片中減少光刻膠的使用量

如何在芯片中減少光刻膠的使用量

光刻膠不能太厚或太薄,需要按制程需求來定。比如對于需要長時(shí)間蝕刻以形成深孔的應(yīng)用場景,較厚的光刻膠層能提供更長的耐蝕刻時(shí)間。

2024-03-04 標(biāo)簽:晶圓光刻膠 2.3k 0

7.5 μm像元間距紅外探測器三維電極的制備與應(yīng)用案例

7.5 μm像元間距紅外探測器三維電極的制備與應(yīng)用案例

隨著各類小型化自動武器裝備在戰(zhàn)場上被高頻使用,并獲得了大量戰(zhàn)果,此類裝備的國防需求不斷增長。

2024-02-28 標(biāo)簽:紅外探測器光刻膠 1.7k 0

如何在刻蝕鋁之后保護(hù)鋁不被腐蝕?

如何在刻蝕鋁之后保護(hù)鋁不被腐蝕?

需要鋁金屬的地方太多了,在DRAM和flash等存儲器產(chǎn)品中,鋁連線由于成本低廉和加工簡便仍被廣泛使用。這些存儲器設(shè)備通常不像高性能邏輯芯片那樣對電阻和...

2023-12-25 標(biāo)簽:存儲器等離子體半導(dǎo)體封裝 2.2k 0

什么是PSPI?PSPI相較于非光敏性PI的優(yōu)勢?

什么是PSPI?PSPI相較于非光敏性PI的優(yōu)勢?

PSPI(光敏性聚酰亞胺)是一種十分重要的半導(dǎo)體材料,也是一種十分被卡脖子的材料。

2023-12-18 標(biāo)簽:半導(dǎo)體PCB板晶圓 6.9k 0

晶圓級封裝(WLP)的各項(xiàng)材料及其作用

晶圓級封裝(WLP)的各項(xiàng)材料及其作用

本篇文章將探討用于晶圓級封裝(WLP)的各項(xiàng)材料,從光刻膠中的樹脂,到晶圓承載系統(tǒng)(WSS)中的粘合劑,這些材料均在晶圓級封裝中發(fā)揮著重要作用。

2023-12-15 標(biāo)簽:半導(dǎo)體封裝封裝工藝光刻膠 3.9k 0

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    服務(wù)機(jī)器人是機(jī)器人家族中的一個年輕成員,到目前為止尚沒有一個嚴(yán)格的定義。不同國家對服務(wù)機(jī)器人的認(rèn)識不同。
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