刻蝕

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刻蝕，英文為Etch，它是半導(dǎo)體制造工藝，微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中的一種相當(dāng)重要的步驟。是與光刻［1］相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理的一種主要工藝。所謂刻蝕，實(shí)際上狹義理解就是光刻腐蝕，先通過光刻將光刻膠進(jìn)行光刻曝光處理，然后通過其它方式實(shí)現(xiàn)腐蝕處理掉所需除去的部分。

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刻蝕資訊

如何提高濕法刻蝕的選擇比

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2024-12-25 標(biāo)簽：半導(dǎo)體濕法刻蝕 1.9k 0

濕法刻蝕詳細(xì)工藝原理

濕法刻蝕是一種在半導(dǎo)體制造過程中常用的技術(shù)，用于通過化學(xué)反應(yīng)溶解或腐蝕材料表面，以形成所需的紋理或結(jié)構(gòu)。以下是濕法刻蝕的詳細(xì)工藝原理：準(zhǔn)備工作在進(jìn)...

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晶圓濕法刻蝕原理是什么意思

晶圓濕法刻蝕原理是指通過化學(xué)溶液將固體材料轉(zhuǎn)化為液體化合物的過程。這一過程主要利用化學(xué)反應(yīng)來去除材料表面的特定部分，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體材料的精細(xì)加工和圖案...

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聚焦離子束(FIB)加工硅材料的損傷機(jī)理及控制

???? 聚焦離子束（FIB）在材料表征方面有著廣泛的應(yīng)用，包括透射電鏡（TEM）樣品的制備。在這方面，F(xiàn)IB比傳統(tǒng)的氬離子束研磨具有許多優(yōu)勢(shì)。例如，電...

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腔室壓力對(duì)刻蝕的影響

本文介紹了腔室壓力對(duì)刻蝕的影響。 ? 腔室壓力是如何調(diào)節(jié)的？對(duì)刻蝕的結(jié)果有什么影響？ ? 什么是腔室壓力？腔室壓力是指在刻蝕設(shè)備的工藝腔室內(nèi)的氣體壓力...

2024-12-17 標(biāo)簽：工藝刻蝕 2k 0

干法刻蝕時(shí)側(cè)壁為什么會(huì)彎曲

離子轟擊的不均勻性干法刻蝕通常是物理作用和化學(xué)作用相結(jié)合的過程，其中離子轟擊是重要的物理刻蝕手段。在刻蝕過程中，離子的入射角和能量分布可能不均勻. 如...

2024-12-17 標(biāo)簽：光刻膠刻蝕 1.7k 0

SiGe與Si選擇性刻蝕技術(shù)

文章來源：半導(dǎo)體與物理原文作者：jjfly686 本文簡(jiǎn)單介紹了兩種新型的選擇性刻蝕技術(shù)——高氧化性氣體的無等離子體刻蝕和原子層刻蝕。全環(huán)繞柵極晶體...

2024-12-17 標(biāo)簽：SiGe 刻蝕 2.2k 0

半導(dǎo)體濕法刻蝕設(shè)備加熱器的作用

其實(shí)在半導(dǎo)體濕法刻蝕整個(gè)設(shè)備中有一個(gè)比較重要部件，或許你是專業(yè)的，第一反應(yīng)就是它。沒錯(cuò)，加熱器！但是也有不少剛?cè)胄校蛘吡私獠簧畹娜撕闷?，半?dǎo)體濕法刻蝕...

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干法刻蝕側(cè)壁彎曲的原因及解決方法

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PDMS軟刻蝕技術(shù)的應(yīng)用

PDMS（聚二甲基硅氧烷）軟刻蝕技術(shù)是一種在高分子科學(xué)中廣泛應(yīng)用的微制造技術(shù)。它能夠簡(jiǎn)捷有效、高精度地制備出眾多材料的微結(jié)構(gòu)，且技術(shù)成本低廉，不需要昂貴...

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微流控芯片加工中的PDMS軟刻蝕技術(shù)和聚合物成型介紹

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降低半導(dǎo)體金屬線電阻的沉積和刻蝕技術(shù)

作者：泛林集團(tuán) Semiverse Solutions 部門軟件應(yīng)用工程師 Timothy Yang 博士 01 介紹銅的電阻率由其晶體結(jié)構(gòu)、空隙體積...

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摘要：使用SEMulator3D?可視性沉積和刻蝕功能研究金屬線制造工藝，實(shí)現(xiàn)電阻的大幅降低作者：泛林集團(tuán) Semiverse Solutions ...

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基于兩步刻蝕工藝的錐形TSV制備方法

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STM32F4是由ST（意法半導(dǎo)體）開發(fā)的一種高性能微控制器。其采用了90 納米的NVM 工藝和ART（自適應(yīng)實(shí)時(shí)存儲(chǔ)器加速器，Adaptive Real-Time MemoryAccelerator?）。
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壓電力顯微鏡（PFM）即是在AFM基礎(chǔ)上發(fā)展起來利用原子力顯微鏡導(dǎo)電探針檢測(cè)樣品的在外加激勵(lì)電壓下的電致形變量的顯微鏡。為了有效的提取出PFM信號(hào)，通常會(huì)對(duì)探針施加某一固定頻率（遠(yuǎn)低于探針共振頻率）的激勵(lì)信號(hào)，通過鎖相放大器對(duì)PFM信號(hào)進(jìn)行提取。

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