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曝光機即電子束曝光機是集電子光學、電氣、機械、真空、計算機技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備。曝光機是20 世紀 60 年代初從掃描電子顯微鏡基礎(chǔ)上發(fā)展起來， 70 年代以后廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路制造業(yè)。