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　　電路可靠性是系統(tǒng)或元器件在規(guī)定的條件下和規(guī)定的時間內(nèi)，完成規(guī)定功能的能力，從集成電路的誕生開始，可靠性的研究測試就成為IC設計、制程研究開發(fā)和產(chǎn)品生產(chǎn)中的一個重要部分，制程可靠性評估采用特殊設計的結(jié)構(gòu)對集成電路中制程相關的退化機理（WearoutMechanism）進行測試評估。