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　　集成電路測(cè)試儀是對(duì)集成電路進(jìn)行測(cè)試的專用儀器設(shè)備。集成電路測(cè)試是保證集成電路性能、質(zhì)量的關(guān)鍵手段之一。集成電路測(cè)試技術(shù)是發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)的三大支撐技術(shù)之一，因此，集成電路測(cè)試儀作為一個(gè)測(cè)試門類受到很多國家的高度重視。