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標(biāo)簽 > duv
duv就是深紫外光,主要是指波長小于i-line365nm的紫外光,一般工業(yè)上有193arf和248nmkrf的的激光。用的都是化學(xué)增幅型的光刻膠。
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解讀ASML澄清中芯國際購買協(xié)議事件和EUV與DUV的差異性
近日,中芯國際與ASML達(dá)成12億美元交易購買晶圓生產(chǎn)設(shè)備的消息引發(fā)關(guān)注。針對雙方此次合作,有媒體報道稱“除了 EUV 光刻機(jī),中芯國際幾乎可以買到其他...
3月3日下午,中芯國際披露,公司于2月1日與阿斯麥(ASML)上海簽訂了經(jīng)修訂和重述的阿斯麥批量采購協(xié)議,將采購協(xié)議的期限延長一年至2021年12月31...
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