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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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技術(shù)探究:微流控芯片技術(shù)為什么這樣強(qiáng)悍?
微流控芯片采用類似半導(dǎo)體的微機(jī)電加工技術(shù)在芯片上構(gòu)建微流路系統(tǒng),將實(shí)驗(yàn)與分析過(guò)程轉(zhuǎn)載到由彼此聯(lián)系的路徑和液相小室組成的芯片結(jié)構(gòu)上,加載生物樣品和反應(yīng)液后...
編者注:TSV是通過(guò)在芯片與芯片之間、晶圓和晶圓之間制作垂直導(dǎo)通;TSV技術(shù)通過(guò)銅、鎢、多晶硅等導(dǎo)電物質(zhì)的填充,實(shí)現(xiàn)硅通孔的垂直電氣互聯(lián),這項(xiàng)技術(shù)是目前...
MEMS麥克風(fēng)技術(shù)滿足音量市場(chǎng)的性能要求
MEMS麥克風(fēng)含一個(gè)可移動(dòng)的膜片和靜態(tài)背板,采用常見(jiàn)的包括沉積和選擇性蝕刻的工藝制作在硅晶圓基板上。背板有穿孔,允許空氣流通而不引起偏離。膜片的設(shè)計(jì)是為...
2017-08-30 標(biāo)簽:傳感器mems語(yǔ)音識(shí)別 5.6k 0
使用LTspice進(jìn)行工程電源和MEMS信號(hào)鏈模擬
現(xiàn)代MEMS傳感器解決方案的體積小、集成度高,并且放置在振動(dòng)源附近,用于測(cè)量振動(dòng)頻率。頻率隨時(shí)間的變化表明振動(dòng)源(電機(jī)、發(fā)電機(jī)等)存在問(wèn)題。
2021-11-19 標(biāo)簽:adimems運(yùn)算放大器 5.6k 0
基于MEMS的加速度計(jì)實(shí)現(xiàn)工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)的廣泛應(yīng)用
經(jīng)典物理學(xué)習(xí)運(yùn)動(dòng)的基本方程:力=質(zhì)量×加速度,其中加速度定義為速度的變化(其時(shí)間導(dǎo)數(shù)),速度是位置的變化(位置的時(shí)間導(dǎo)數(shù))。加速度在數(shù)字上表示為SI(公...
2019-03-22 標(biāo)簽:mems加速度計(jì)工業(yè)物聯(lián)網(wǎng) 5.6k 0
Yole:年末回顧全球MEMS器件中的創(chuàng)新設(shè)計(jì)
如今,MEMS器件已成為我們?nèi)粘I钪胁豢苫蛉钡囊徊糠?,盡管它們的存在常常被人忽略,其應(yīng)用范圍從耳機(jī)中的麥克風(fēng)到用于工業(yè)天線穩(wěn)定的慣性傳感器,無(wú)所不包。...
2025-12-15 標(biāo)簽:mems 5.6k 0
村田通過(guò)MEMS技術(shù)使該產(chǎn)品達(dá)到了小型化,并實(shí)現(xiàn)了與晶體諧振器相同的初始頻率精度(±20ppm)以上的頻率溫度特性(160ppm以下)(工作環(huán)境:-30...
慣性傳感器在運(yùn)動(dòng)感應(yīng)游戲中的應(yīng)用
另一個(gè)很好的例子是ADI公司的ADIS16407 iSensor器件,一個(gè)完整的慣性系統(tǒng)包括三軸陀螺儀,三軸加速度計(jì),三軸磁力計(jì)和壓力傳感器。每個(gè)傳感器...
淺談MLX90614片上的數(shù)字信號(hào)濾波器
MLX90614是易于集成的TO39封裝的紅外測(cè)溫儀。它使用兩芯片架構(gòu)來(lái)提供完全集成和經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的解決方案。
2021-05-25 標(biāo)簽:濾波器mems信號(hào)濾波器 5.5k 0
卡西歐早年就以電機(jī)馬達(dá)、繼電器等機(jī)電產(chǎn)品聞名。如今的卡西歐本身就是MEMS的制造商之一,用MEMS的思路解決傳統(tǒng)機(jī)械手表遇到的問(wèn)題是卡西歐的拿手好戲。所...
MEMS微針陣列及其在生物醫(yī)學(xué)上的應(yīng)用
MEMS生物微針技術(shù)出現(xiàn)了并不是很長(zhǎng)的時(shí)間,下面就微針較為廣泛的三個(gè)方面的應(yīng)用原理及當(dāng)前該技術(shù)的最新進(jìn)展進(jìn)行闡述。
麥姆斯咨詢:MEMS設(shè)計(jì)與IC不同,其可廣泛應(yīng)用于機(jī)械、光學(xué)、磁場(chǎng)、流體和生物學(xué)領(lǐng)域,因而所使用的幾何形狀也就千變?nèi)f化,較為繁復(fù)。
最新傳感器技術(shù):MEMS陀螺儀在任何情況下都能精確的慣性傳感
為了滿足這一需求,ADI公司開(kāi)發(fā)了一種帶有集成信號(hào)調(diào)理功能的新型高溫MEMS陀螺儀, ADXRS645。該傳感器即使在存在沖擊和振動(dòng)的情況下也能實(shí)現(xiàn)精確...
2019-04-10 標(biāo)簽:mems 5.5k 0
加速度計(jì)技術(shù)的特點(diǎn)與應(yīng)用
有許多因素導(dǎo)致加速度計(jì)技術(shù)的快速發(fā)展。首先是這類設(shè)備的市場(chǎng)不斷擴(kuò)大,特別是在汽車,消費(fèi)品和醫(yī)療電子產(chǎn)品領(lǐng)域,加速度計(jì)可以實(shí)現(xiàn)幫助產(chǎn)品在市場(chǎng)上取得成功的新...
換能器的英文名稱是transducer,用于實(shí)現(xiàn)不同形式的能量相互轉(zhuǎn)換的儀器或器件可以通稱為換能器。
如何通過(guò)傳感器檢測(cè)到能量并啟動(dòng)麥克風(fēng)
Vesper透露了“首款可商用的靜態(tài)感應(yīng)MEMS器件”,該器件提出了一種依靠聲能將自己拉出省電模式的器件。Vesper首席執(zhí)行官M(fèi)att Crowley...
2021-05-04 標(biāo)簽:放大器mems智能揚(yáng)聲器 5.4k 0
實(shí)現(xiàn)最優(yōu)的傳感器:ASIC與MEMS協(xié)同設(shè)計(jì)方法
為了實(shí)現(xiàn)最優(yōu)的傳感器,強(qiáng)烈推薦基于傳感器總體目標(biāo)規(guī)格的ASIC與MEMS協(xié)同設(shè)計(jì)方法,而不是針對(duì)已經(jīng)設(shè)計(jì)好的MEM再進(jìn)行ASIC設(shè)計(jì)。
什么叫做MEMS?意法半導(dǎo)體將如何布局智能工業(yè)MEMS市場(chǎng)
什么叫做MEMS?在此先做個(gè)小科普:它的全稱Micro Electromechanical System,簡(jiǎn)稱微機(jī)電系統(tǒng)。它是指尺寸在幾毫米乃至更小的高...
2018-10-03 標(biāo)簽:傳感器MEMS意法半導(dǎo)體 5.4k 0
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