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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS傳感器在消費(fèi)類領(lǐng)域的應(yīng)用
硬盤驅(qū)動器保護(hù)功能 硬盤驅(qū)動器墜落保護(hù)功能是MEMS運(yùn)動傳感器在消費(fèi)電子市場的具有重要?dú)v史意義的代表性應(yīng)用之一。 在手提電腦內(nèi)的三軸加速度傳感計(jì)可以監(jiān)測...
來自慣性傳感器的信息可以被處理和 集成以導(dǎo)出許多不同類型的運(yùn)動、位置、 和方向輸出。每種類型的運(yùn)動都需要廣泛的 必須具有的應(yīng)用相關(guān)復(fù)雜性范圍 理解。一個(gè)...
液位檢測是許多家用電器功能的重要組成部分,例如洗衣機(jī)、洗碗機(jī)都需要通過控制液位來實(shí)現(xiàn)多水位的洗滌方式,以達(dá)到節(jié)水目的;熱水器需要在液位過低時(shí)自動補(bǔ)水,防...
如何利用LTspice輕松模擬工程電源與MEMS信號鏈設(shè)計(jì)
一般的共享電源和數(shù)據(jù)接口經(jīng)過編碼,可減少信號直流成分,從而在發(fā)送交流信號成分時(shí)簡化系統(tǒng)設(shè)計(jì)。但是,許多數(shù)字輸出傳感器接口(例如,SPI和I2C)尚未經(jīng)過...
由于采用了Technitrol的MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))麥克風(fēng)技術(shù),一系列極具創(chuàng)新性的MEMS產(chǎn)品得以投放到在硅麥克風(fēng)市場。首批上市的產(chǎn)品為愛普科斯T...
Analog Devices Inc. ADXL382 3軸MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices ADXL382 3軸MEMS加速度計(jì)支持±15g、±30g和±60g的可選測量范圍。這款3軸加速度計(jì)具備低噪聲密度和低功耗...
基于閉環(huán)MEMS的電容式慣性傳感器設(shè)計(jì)
微機(jī)械式慣性傳感器已經(jīng)成為許多消費(fèi)產(chǎn)品的一個(gè)組成部分,比如手持式移動終端、照相機(jī)和游戲控制器等。此外,微機(jī)械式慣性傳感器還被廣泛用于工業(yè)、汽車安全和穩(wěn)定...
壓力變送器及壓力芯體的結(jié)構(gòu)及原理簡介:壓力芯體在壓力測量中充當(dāng)了壓力信號的初值反饋,最終壓力信號經(jīng)過校準(zhǔn)、調(diào)理等將信號給到壓力變送器中,當(dāng)壓力作用在測量...
ADI公司推出了一款雙軸傾斜計(jì)傳感器能提供出小于0.1度線性傾斜誤差
ADIS16209作為業(yè)界最精密的微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)傾斜計(jì),提供小于0.1度線性傾斜誤差的全補(bǔ)償直接角度輸出,從而使其精度提高到至少是同類傾斜傳...
NIST開發(fā)出微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)延遲線內(nèi)存控制器
美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究所(NIST)日前展示一款采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的延遲線內(nèi)存控制器,可望作為未來量子電腦的暫存內(nèi)存控制器。
2013-03-21 標(biāo)簽:MEMS延遲線微機(jī)電系統(tǒng) 1.6k 0
我在上一篇關(guān)于MEMS壓力傳感器的博客中,談到了從手表到復(fù)雜機(jī)械等眾多設(shè)備中的HMI傳感器如何改變了我們獲取信息以及與技術(shù)交互的方式。過去,許多設(shè)備上只...
MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于...
2015-03-20 標(biāo)簽:汽車電子MEMS可穿戴設(shè)備 1.6k 0
MEMS是Micro Electro Mechanical Systems(微機(jī)電系統(tǒng))的縮寫,具有微小的立體結(jié)構(gòu)(三維結(jié)構(gòu)),是處理各種輸入、輸出信號...
各種創(chuàng)新消費(fèi)類產(chǎn)品的MEMS傳感器應(yīng)用設(shè)計(jì)
MEMS即微機(jī)電系統(tǒng),是利用微米級立體結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)感應(yīng)和執(zhí)行功能的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。其中,微米級立體結(jié)構(gòu)是利用被稱為“微加工”的特殊工藝實(shí)現(xiàn)的微米大小的立體機(jī)械...
MEMS系統(tǒng)的EMC合規(guī)性提高了99%
本文概括介紹了在設(shè)計(jì) EMC 標(biāo)準(zhǔn)時(shí)遇到的主要難題,這些挑戰(zhàn)應(yīng)與當(dāng)今高度集成的 CbM 解決方案相協(xié)調(diào)。眾所周知,EMC設(shè)計(jì)很難在第一次就正確,即使是電...
智能汽車將推動CMOS圖像傳感器和傳感器晶圓需求的持續(xù)增長
移動終端產(chǎn)品中的電子元器件應(yīng)用日益增長,受此驅(qū)動,半導(dǎo)體行業(yè)正面臨著一個(gè)新的時(shí)代,在這個(gè)新時(shí)代,工藝節(jié)點(diǎn)縮小和成本降低將不再延續(xù)過去幾十年來的摩爾定律發(fā)...
您需要了解的有關(guān)狀態(tài)監(jiān)測的MEMS加速度計(jì)的信息
市場上出現(xiàn)了許多高度集成且易于部署的狀態(tài)監(jiān)測產(chǎn)品,這些產(chǎn)品采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì)作為核心傳感器。這些經(jīng)濟(jì)型產(chǎn)品有助于降低部署和擁有的總體成本...
如何利用MEMS加速計(jì)進(jìn)一步提高工業(yè)應(yīng)用精度?
隨著高集成度和更精密的加速計(jì)產(chǎn)品的出現(xiàn),系統(tǒng)設(shè)計(jì)師需要了解零件是如何校準(zhǔn)的,因?yàn)檫@決定著他們是購買這些校準(zhǔn)方案還是開發(fā)自己的校準(zhǔn)程序。本文將討論雙軸加速...
2018-04-11 標(biāo)簽:mems工業(yè)應(yīng)用 1.6k 0
我們都知道,F(xiàn)BAR濾波器就是薄膜腔聲諧振濾波器,它不同于以前的濾波器,是使用硅底板、借助MEMS技術(shù)以及薄膜技術(shù)而制造出來的,現(xiàn)階段的FBAR濾波器已...
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