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微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

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全部技術資訊資料帖子視頻產(chǎn)品方案企業(yè) 數(shù)據(jù)手冊

mems技術

如何讓MEMS標準化

硬件，尤其是MEMS傳感器，仍將會是終端裝置中不可或缺的部份，但展望未來，軟件在為用戶帶來價值方面也扮演同樣重要的角色。

2020-07-21 標簽：mems MEMS技術 1.2k 0

英飛凌進一步改善MEMS麥克風聲學性能和功耗

根據(jù)市場調(diào)研機構 Omdia報告指出，英飛凌科技股份有限公司已成功登上 MEMS 麥克風市場的領導地位。根據(jù)報告中MEMS 芯片銷售量顯示，英飛凌的市場...

2021-01-09 標簽：英飛凌 MEMS 麥克風 1.2k 0

大撓度彎曲的三角形懸臂梁MEMS探針設計

微小的可變形微加工芯片邊緣微懸臂梁對于各種表面探測技術都非常有用。例如，它們是近場顯微術的關鍵元素，在近場顯微術中，它們在小撓度狀態(tài)下的力學行為被很好的...

2022-11-21 標簽：mems 1.2k 0

【干貨】北斗三號+ MEMS慣性傳感器：國產(chǎn)高精度導航的突圍路徑

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2025-08-14 標簽：mems 導航慣性傳感器 1.2k 0

STEVAL-MKI236A適配器板技術解析與應用指南

STMicroelectronics STEVAL-MKI236A 2xASM330LHB適配器板旨在方便ASM330LHB產(chǎn)品系列中MEMS設備的評估...

2025-10-25 標簽：電容器 mems 適配器 1.2k 0

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2023-06-07 標簽：傳感器 mems 壓力傳感器 1.1k 0

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2023-01-29 標簽：傳感器 MEMS 1.1k 0

航裕電源汽車傳感器測試解決方案

汽車傳感器是汽車電子控制系統(tǒng)的關鍵部件，是汽車電子控制系統(tǒng)信息的主要來源，它的主要功能是利用安裝在汽車各部位的信號轉(zhuǎn)換裝置，測量或檢測汽車在各種運行狀態(tài)...

2024-08-14 標簽：mems 汽車傳感器無人駕駛 1.1k 0

脫穎而出的MEMS技術設計

頻率信號對于所有電子產(chǎn)品就像是心跳對所有動物的生命一般重要，所有電子電路的動作都以此重復性且穩(wěn)定的頻率信號作為參考信號源。設計優(yōu)良的頻率信號，幾乎是系統(tǒng)...

2017-12-10 標簽：mems 1.1k 0

Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度計數(shù)據(jù)手冊

Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度計是一款超低功耗、3軸微機電系統(tǒng) (MEMS) 加速度計，在100Hz輸出數(shù)據(jù)速率...

2025-06-20 標簽：mems 低功耗加速度計 1.1k 0

銅在微機電系統(tǒng)中的應用

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2025-08-12 標簽：mems 微機電系統(tǒng)TSV 1.1k 0

MEMS麥克風為中國精密制造產(chǎn)業(yè)帶來發(fā)展機遇

MEMS產(chǎn)品是指尺寸在毫米級甚至微米級的微型機電裝置，主要分為微型傳感器（如MEMS麥克風和壓力傳感器）和微型執(zhí)行器（如MEMS揚聲器）兩大類。

2020-07-21 標簽：mems MEMS麥克風 1.1k 0

MEMS在無人系統(tǒng)領域有著巨大的應用潛力

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2020-07-14 標簽：mems 無人系統(tǒng) 1.1k 0

降低MEMS設計方法

鑒于MEMS工藝源自光刻微電子工藝，所以人們很自然會考慮用IC設計工具來創(chuàng)建MEMS器件的掩膜。

2011-12-09 標簽：MEMS 1.1k 0

ADXRS290用于穩(wěn)定應用的超低噪聲、雙軸MEMS陀螺儀技術手冊

ADXRS290是一款高性能俯仰和滾動（層內(nèi)雙軸）角速率傳感器（陀螺儀），設計用于穩(wěn)定應用。 ADXRS290提供±100°/s輸出滿量程性能，靈...

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SiTime MEMS振蕩器的可靠性計算

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2021-10-27 標簽：半導體振蕩器 mems 1.1k 0

熱式測量原理：未來氫氣燃氣表的理想選擇

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2024-11-28 標簽：傳感器 mems 測量 1.1k 0

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2020-08-31 標簽：mems MEMS器件 1.1k 0

德州儀器DLP550HE數(shù)字微鏡器件(DMD)技術解析

Texas Instruments DLP550HE數(shù)字微鏡器件(DMD) 是一款數(shù)控微機電系統(tǒng) (MEMS) 空間光調(diào)制器 (SLM)，可用于實現(xiàn)明亮...

2025-08-21 標簽：mems 調(diào)制器 DMD 1.1k 0

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亞毫米級的測量系統(tǒng)使傳感器的結(jié)構更加緊湊。它的尺寸只有80×30×15mm，可以放入非常狹小的空間。測量值通過RS232接口和虹科TrueDyne傳感器...

2022-11-12 標簽：傳感器 mems RS232接口 1.1k 0

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