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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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閃耀光柵數(shù)字微鏡的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與驅(qū)動(dòng)
基于MEMS的閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術(shù)是一種全新的顯示技術(shù), 它的基本工作原理為:平行的復(fù)合白色光線以固定的入射角照射在閃耀光柵微鏡陣列上,驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)...
中國(guó)汽車MEMS市場(chǎng)增長(zhǎng)最快 2015年將達(dá)到4億美元
據(jù)IHS iSuppli公司的最新汽車MEMS報(bào)告,中國(guó)的汽車微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)市場(chǎng)未來(lái)幾年增長(zhǎng)速度將快于世界其它任何地區(qū)。進(jìn)一步實(shí)施汽車安全法規(guī),...
MEMS醫(yī)療運(yùn)動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)挑戰(zhàn)研究
基于 MEMS 的系統(tǒng)可以顯著提高髖關(guān)節(jié)和膝關(guān)節(jié)植入體與病人骨骼結(jié)構(gòu)的對(duì)準(zhǔn)精度,減輕不舒適感,從而避免進(jìn)行修正手術(shù)。 本文將研究醫(yī)療導(dǎo)航應(yīng)用的獨(dú)特挑戰(zhàn),...
多門類實(shí)用的MEMS演示樣品向早期產(chǎn)品演繹,可批量生產(chǎn)的微加速度計(jì)、力敏傳感器、微陀螺儀、數(shù)字微鏡器件、光開(kāi)關(guān)等的商品化日趨成熟,初步形成100億美元的...
2011-09-20 標(biāo)簽:MEMS 6.2k 0
2011年光MEMS市場(chǎng)預(yù)計(jì)增長(zhǎng)近15%
據(jù)IHS公司的最新MEMS市場(chǎng)研究報(bào)告,由于市場(chǎng)對(duì)寬帶互聯(lián)網(wǎng)服務(wù)的需求持續(xù)激增,預(yù)計(jì)2011年以及隨后幾年光MEMS銷售額強(qiáng)勁增長(zhǎng)。光MEMS是超高速光...
2011-09-15 標(biāo)簽:MEMS 547 0
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加工及技術(shù)基礎(chǔ)
微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)統(tǒng)有多種原材料和制造技術(shù),選擇條件是系統(tǒng)的應(yīng)用、市場(chǎng)等等。
2011-09-13 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 3.1k 0
微機(jī)電系統(tǒng),英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫(xiě)),其是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械...
2011-09-13 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 3.8k 0
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)特點(diǎn)分析
微機(jī)電系統(tǒng),英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫(xiě)),其是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械...
2011-09-13 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 5.3k 0
MEMS微機(jī)電系統(tǒng)基本上是指尺寸在幾厘米以下乃至更小的小型裝置,是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng),主要由傳感順、作動(dòng)器(執(zhí)行器)和微能源三大部分組成。
2011-09-13 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 3.4k 0
MEMS和信號(hào)調(diào)理實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散硅壓力傳感器
文中介紹通過(guò)采用 MEMS (micro electro mechanical systems)技術(shù)制造的硅壓阻力敏元件結(jié)合智能集成化信號(hào)調(diào)理技術(shù)設(shè)計(jì)了...
2011年MEMS銷售額預(yù)計(jì)可達(dá)79.7億美元
據(jù)IHS iSuppli公司的 MEMS 研究報(bào)告,2011年上半年不同的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域增長(zhǎng)速度有快有慢,突顯這些器件的使用領(lǐng)域更加多樣化。...
2011-09-08 標(biāo)簽:MEMS 885 0
Consensic感芯半導(dǎo)體推出MEMS電容式壓力傳感器CPS120
美國(guó)Consensic 公司推出革命性新型微機(jī)電(MEMS)智能電容式壓力傳感器CPS120,是全世界唯一一家數(shù)字式MEMS電容式壓力傳感器的廠商。
基于MEMS的無(wú)創(chuàng)胎心檢測(cè)方法
本項(xiàng)目基于VTI公司的SCA600C13H1G型MEMS加速度傳感器,提出一種無(wú)創(chuàng)胎心檢測(cè)方法,研制出一種簡(jiǎn)單易學(xué)、直觀準(zhǔn)確的介于胎心聽(tīng)診器和多普勒胎兒...
最近的傳感器技術(shù)發(fā)展使得機(jī)器人和其他工業(yè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了革命性的進(jìn)步。除了機(jī)器人以外,慣性傳感器有可能改善其系統(tǒng)性能或功能的應(yīng)用還包括:平臺(tái)穩(wěn)定、工業(yè)機(jī)械...
ST在MICROTech World上展示MEMS技術(shù)多項(xiàng)應(yīng)用成果
意法半導(dǎo)體 (STMicroelectronics,簡(jiǎn)稱ST;紐約證券交易所代碼:STM)將于2011年8月24-26日在韓國(guó)2011年MICROTec...
Maxim收購(gòu)傳感器和MEMS方案商SensorDynamics
美信(Maxim Integrated Products)宣布公司已完成對(duì)SensorDynamics的收購(gòu),SensorDynamics是一家提供專用...
ADI推出ADIS16210 MEMS iSensor數(shù)字傾角計(jì)系統(tǒng)
ADI全球領(lǐng)先的高性能信號(hào)處理解決方案供應(yīng)商,最近正式全面推出ADIS16210 MEMS iSensor數(shù)字傾角計(jì)系統(tǒng),該系統(tǒng)可在+/-180度的全向...
MEMS加速度傳感器的自動(dòng)校準(zhǔn)平臺(tái)
針對(duì)多點(diǎn)調(diào)平系統(tǒng)的不足,設(shè)計(jì)了電機(jī)式3點(diǎn)自動(dòng)校準(zhǔn)平臺(tái),簡(jiǎn)化了控制模型。在分析了調(diào)平過(guò)程中可能遇到的干擾因素后,采用相應(yīng)的軟硬件抑制方法,提高了系統(tǒng)適應(yīng)復(fù)...
MEMS(Micro Electromechanical System,即微電子機(jī)械系統(tǒng))是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、接口電路、通信...
2011-06-20 標(biāo)簽:MEMS 1.4k 0
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