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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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MEMS傳感器 應(yīng)用于無創(chuàng)胎心檢測,檢測胎兒心率是一項技術(shù)性很強的工作,由于胎兒心率很快,在每分鐘l20~160次之間,用傳統(tǒng)的聽診器甚至只有放大作用的...
環(huán)保傳感器與工業(yè)過程控制的應(yīng)用關(guān)系
生態(tài)農(nóng)業(yè)是知識密集和技術(shù)密集的領(lǐng)域。目前作為“電子感官”的傳感技術(shù)在農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、生物學(xué)研究、農(nóng)藥殘留量檢測等方面得到了廣泛的應(yīng)用。
MEMS智能傳感器有助于實現(xiàn)器件的設(shè)計和驗證
隨著時間的推移,壓力傳感器系統(tǒng)的電子器件,被集成至含有處理器的 IC 中,成本和尺寸都獲得縮減。汽車公司現(xiàn)在可以提供一個連接到安全氣囊裝置的完整系統(tǒng)。雖...
Unispectral可調(diào)諧MEMS濾光器實現(xiàn)低成本紅外相機的單光譜成像
該產(chǎn)品主要由組裝在攝像機模塊上的可調(diào)諧MEMS濾光器和控制板組成。RaspberryPi用于捕獲參數(shù),并通過USB和/或WiFi連接到顯示器、PC或移動...
本文研究的MEMS加速度計為壓阻式硅微加速度計,量程為10 gn,其結(jié)構(gòu)如圖1所示。MEMS加速度計是由懸臂梁和質(zhì)量塊以及布置在梁上的壓阻組成,呈雙端四梁結(jié)構(gòu)。
這家高新區(qū)打造中國最大MEMS產(chǎn)業(yè)高地
市場廣闊。MEMS是繼微電子之后又一個顛覆性技術(shù),也是被發(fā)達(dá)國家封鎖和壟斷的高新技術(shù)。MEMS技術(shù)屬于多學(xué)科交叉的前沿科技領(lǐng)域,具有功耗低、集成度高、耐...
深迪半導(dǎo)體的MEMS傳感器項目在浙江紹興舉行簽約儀式
據(jù)越牛新聞報道,改項目投產(chǎn)后將有力引領(lǐng)和帶動柯橋芯片產(chǎn)業(yè)的培育發(fā)展,助力紹興打造1000億級集成電路產(chǎn)業(yè)集群。
針對傳感器技術(shù)在國內(nèi)的專利申請狀況,本文檢索結(jié)合關(guān)鍵詞檢索、IPC檢索、邏輯表達(dá)式檢索等方式,檢索了2018年12月31日前公開的專利申請數(shù)據(jù)。
2020-08-02 標(biāo)簽:傳感器技術(shù)mems 3.4k 0
MEMS慣性器件在典型應(yīng)用環(huán)境下的主要失效模式和失效機理進行分析和總結(jié)
Yang Chunhua和Liu Qin等人通過對MEMS加速度計的沖擊試驗,發(fā)現(xiàn)懸臂梁、梳齒的受力集中點均在根部,即連接點處。當(dāng)沖擊應(yīng)力引起的懸臂梁變...
Fact.MR指出,全球MEMS傳感器市場在本質(zhì)上是穩(wěn)固的,一些電子和半導(dǎo)體跨國公司(如意法半導(dǎo)體,博世、恩智浦和德州儀器)獲得了最大的份額。其中,意法...
MEMS流量傳感器內(nèi)部結(jié)構(gòu) 檢測原理解析
這種傳感器芯片采用使用熱線的質(zhì)量流量檢測方式。其芯片中央具有加熱器,上游側(cè)的熱電堆 (A)及下游側(cè)熱電堆 (B)配置在加熱器的 兩側(cè),熱電堆附近配置有基...
睿創(chuàng)微納持續(xù)深耕紅外熱成像,戰(zhàn)略布局激光測距和短波紅外
睿創(chuàng)微納產(chǎn)品主要包括非制冷紅外熱成像MEMS芯片、紅外熱成像探測器、紅外熱成像機芯(成像機芯和測溫機芯)、紅外熱像儀、激光產(chǎn)品及光電系統(tǒng)。紅外MEMS芯...
MEMS的制造主要采用Si材料,它與IC的不同在于,IC是電信號的傳輸、轉(zhuǎn)換及處理,而MEMS是電信號和其他形式能量間的轉(zhuǎn)換(以機械能為典型),所以在M...
睿創(chuàng)微納籌建新型半導(dǎo)體技術(shù)研究院,打造8寸MEMS中試線
通過成立公共服務(wù)平臺,建設(shè)化合物半導(dǎo)體及MEMS工藝平臺,開發(fā)可產(chǎn)業(yè)化且具備市場競爭力的新材料、新器件、新技術(shù)和新應(yīng)用,推動本地區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。堅持...
2020-07-31 標(biāo)簽:mems半導(dǎo)體技術(shù) 4.6k 0
蘇州地區(qū)MEMS產(chǎn)業(yè)高技能人才培養(yǎng)模式探析
MEMS產(chǎn)業(yè)高技能人才的素質(zhì)要求主要包括專業(yè)能力、個人特質(zhì)、方法能力和社會能力四個部分,具體體現(xiàn)在責(zé)任心、職業(yè)道德感、奉獻精神、溝通與協(xié)調(diào)能力、獨立工作...
MEMS與傳感器產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(MSIG)的首席戰(zhàn)略官Steve Whalley認(rèn)為MEMS工藝不同于IC工藝,會產(chǎn)生許多種MEMS設(shè)計結(jié)構(gòu),進而推動MEMS...
MEMS器件利用半導(dǎo)體加工技術(shù)來制造三維機械結(jié)構(gòu),三種最常用的MEMS制造技術(shù)包括體微加工(Bulk Micro Machining)、表面微加工(Su...
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