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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS薄膜磁學(xué)特性的在線測(cè)試結(jié)構(gòu)立即下載
2015-03-19 標(biāo)簽:MEMS 460 0
MEMS 振動(dòng)監(jiān)控簡(jiǎn)介立即下載
2014-11-13 標(biāo)簽:MEMS振動(dòng)監(jiān)控 640 0
2014-10-27 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng)Kalman濾波 1.3k 1
簡(jiǎn)述MEMS耐高溫壓力傳感器封裝工藝研究立即下載
2014-09-01 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng)高溫壓力傳感器 1k 0
經(jīng)典詳述基于MEMS的車載激光投影儀設(shè)計(jì)立即下載
2014-07-30 標(biāo)簽:MEMS激光投影儀HUD技術(shù) 1.8k 0
MEMS在未來導(dǎo)航應(yīng)用中的四個(gè)重點(diǎn)領(lǐng)域立即下載
2014-07-23 標(biāo)簽:傳感器MEMS信號(hào)處理算法 637 1
意法半導(dǎo)體LIS3DH運(yùn)動(dòng)傳感器產(chǎn)品規(guī)格立即下載
2014-01-22 標(biāo)簽:MEMS意法半導(dǎo)體LIS3DH 2.6k 1
意法半導(dǎo)體LIS3DH運(yùn)動(dòng)傳感器應(yīng)用筆記立即下載
2014-01-22 標(biāo)簽:MEMS意法半導(dǎo)體LIS3DH 5.5k 7
ST用于可穿戴設(shè)備的運(yùn)動(dòng)傳感器立即下載
2014-01-22 標(biāo)簽:MEMS意法半導(dǎo)體運(yùn)動(dòng)傳感器 2.7k 3
基于微加速度傳感器的無線鼠標(biāo)設(shè)計(jì)立即下載
2013-03-06 標(biāo)簽:MEMS無線鼠標(biāo)加速度傳感器 925 1
MEMS慣性傳感器在控制系統(tǒng)中的應(yīng)用研究立即下載
2013-03-04 標(biāo)簽:控制系統(tǒng)MEMS慣性傳感器 811 0
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