氮化鎵 (GaN) 功率器件已經(jīng)生產(chǎn)超過(guò) 10 年,除了性能和成本改進(jìn)之外,GaN 技術(shù)影響功率轉(zhuǎn)換市場(chǎng)的最重要機(jī)會(huì)來(lái)自于在同一襯底上集成多個(gè)器件的內(nèi)在能力. 這種能力將允許以更直接、更高效率和更具成本效益的方式在單個(gè)芯片上設(shè)計(jì)單片電源系統(tǒng)。
基于 GaN 的 IC 經(jīng)歷了不同的集成階段,從純分立器件到單片半橋器件,再到包含自己的單片集成驅(qū)動(dòng)器的功率 FET,以及最近的包含功率 FET、驅(qū)動(dòng)器、電平轉(zhuǎn)換電路、邏輯和保護(hù)。
第一階段:?jiǎn)纹霕?/strong>
大約六年前,EPC 開(kāi)始了與單片半橋集成的第一階段。這第一步的令人信服的原因是半橋是電源轉(zhuǎn)換中最常用的構(gòu)建塊。第一個(gè) IC 器件將高側(cè)和低側(cè)晶體管都放在一個(gè)基板上,如圖 1 所示。集成的優(yōu)點(diǎn)包括尺寸和成本的降低,并且由于兩個(gè)晶體管的緊密耦合,寄生共源電感也減少了。此外,提高開(kāi)關(guān)速度的優(yōu)勢(shì)可以實(shí)現(xiàn)更快、更高效的開(kāi)關(guān)電源轉(zhuǎn)換系統(tǒng)。

圖 1:(左)集成半橋的橫截面圖和(右)30 V – 100 V 對(duì)稱(chēng)和非對(duì)稱(chēng)半橋選擇的裸片圖像
圖 2 比較了降壓轉(zhuǎn)換器中分立器件與單片半橋器件的性能,輸入電壓為 12 伏,輸出電壓為 1.2 伏,工作頻率為 1 MHz。藍(lán)線(xiàn)代表兩個(gè) GaN 分立晶體管由硅驅(qū)動(dòng)器以非常有效的 PCB 板布局驅(qū)動(dòng)的結(jié)果。綠線(xiàn)代表單片半橋器件的性能。?

圖 2:在 1 MHz 下運(yùn)行的 12 V 輸入、12 V 輸出降壓轉(zhuǎn)換器中的 GaN 分立(藍(lán)線(xiàn))和 GaN 單片半橋(綠線(xiàn))的性能比較。
由于多種原因,單片解決方案的效率要高得多。第一個(gè)原因是電源回路電感已從大約 400 pH 降低到大約 200 pH 范圍,并且在以兆赫茲操作時(shí),這會(huì)產(chǎn)生顯著影響。第二個(gè)原因是在非對(duì)稱(chēng)降壓轉(zhuǎn)換器中,高端設(shè)備或控制設(shè)備往往比低端設(shè)備運(yùn)行得更熱。當(dāng)這兩個(gè)器件一起在同一芯片上時(shí),它們?cè)跓嵘舷嗷テ胶猓梢詫?shí)現(xiàn)更低的峰值溫度和更好的整體效率。
第二階段:eGaN? FET Plus 驅(qū)動(dòng)器
在氮化鎵中,柵極和漏極之間的距離在很大程度上決定了器件能夠承受的電壓。通過(guò)縮小該距離,可以制造出更小的器件,這還可以將非常簡(jiǎn)單的低電壓邏輯和模擬器件與高功率、高電壓器件放置在同一芯片上,如圖 3 所示。

圖 3:(左)集成 eGaN FET 和驅(qū)動(dòng)器的橫截面圖(右)飛行時(shí)間 eGaN FET 和驅(qū)動(dòng)器 IC 的裸片圖像。
圖 3b 顯示了?在飛行時(shí)間 (ToF) IC 中集成eGaN FET 和驅(qū)動(dòng)器的示例。在芯片的左側(cè),可以看到帶有輸入邏輯的電路以及用于 FET 的驅(qū)動(dòng)器。在右側(cè),可以看到輸出 FET。該設(shè)備將接收一個(gè)邏輯信號(hào)并發(fā)出非常高的電流和非常短的脈沖,以在飛行時(shí)間激光雷達(dá)應(yīng)用中發(fā)射激光。這是一個(gè)很好的例子,說(shuō)明如何在一個(gè)芯片上集成驅(qū)動(dòng)器和 GaN 場(chǎng)效應(yīng)晶體管,生成一個(gè)非常強(qiáng)大和非??焖俚?IC,可以從常規(guī)邏輯門(mén)驅(qū)動(dòng)。
圖 4 顯示了這種集成的結(jié)果。圖中的粉紅色線(xiàn)顯示了通過(guò)器件的漏極電流。它顯示了一個(gè) 10 安培脈沖,寬度約為 1.94 納秒,上升時(shí)間為 380 皮秒,下降時(shí)間為 525 皮秒。當(dāng) 2.1 V 邏輯輸入信號(hào)(綠線(xiàn))啟用設(shè)備時(shí),輸入信號(hào)和輸出之間大約有 1 納秒的延遲。這速度太快了!該設(shè)備可以在 100 兆赫的脈沖頻率下舒適地運(yùn)行。

圖 4:?jiǎn)蚊}沖波形 2.1 V 邏輯電平輸入。黃色軌跡是輸入 (1 V/div),粉色線(xiàn)是漏極電流(5 V/div 或 2.5 A/div)。
第三階段:ePower? 階段
2019 年初,驅(qū)動(dòng)器功能和單片半橋與電平轉(zhuǎn)換器、同步升壓電路、保護(hù)和輸入邏輯一起被合并到單個(gè)硅基 GaN 襯底上,如圖 5 所示。該器件的照片是如圖 6 所示。這個(gè)完整的功率級(jí) ePower? 級(jí)可以以數(shù)兆赫茲的頻率驅(qū)動(dòng),并由一個(gè)簡(jiǎn)單的低側(cè) CMOS IC 控制,只需添加幾個(gè)無(wú)源元件,就可以成為一個(gè)完整的 DC-DC調(diào)節(jié)器。與分立實(shí)施方案相比,該解決方案小 35%,組件數(shù)量減少一半。集成功率級(jí)需要的設(shè)計(jì)時(shí)間要少得多,因?yàn)檫@只是邏輯輸入和輸出。

圖 5:eGaN 集成功率級(jí)的橫截面圖

圖 6:EPC2152、ePower? Stage 的芯片圖像
圖 7 顯示了該單片功率級(jí)(如圖 5 和圖 6 所示)在 1 MHz 和 2.5 MHz 下在 48 V IN – 12 V OUT降壓轉(zhuǎn)換器中的效率。綠線(xiàn)表示單片功率級(jí)的效率,藍(lán)線(xiàn)表示分立實(shí)現(xiàn)的效率,使用與單片 IC 具有相同特性的 FET,并利用非常有效的布局,將分立驅(qū)動(dòng)器 IC 放置在非??拷鼒?chǎng)效應(yīng)晶體管。圖中的實(shí)線(xiàn)為 1 MHz,單片 IC 的性能明顯優(yōu)于分立實(shí)現(xiàn)。

圖 7:在 1 MHz(實(shí)線(xiàn))和 2.5 MHz(虛線(xiàn))下運(yùn)行的 48 V 輸入、12 V 輸出降壓轉(zhuǎn)換器中 GaN 分立(藍(lán)線(xiàn))和 GaN 單片半橋(綠線(xiàn))的性能比較。1MHz 時(shí)同類(lèi)最佳的 MOSFET 性能,用黑色 X 表示。
單片功率級(jí)的更高性能有三個(gè)原因。首先,通過(guò)制作單片半橋顯著降低了功率回路電感。其次,通過(guò)將驅(qū)動(dòng)器放在非常靠近 FET 的同一芯片上,消除了柵極環(huán)路電感。最后,通過(guò)將所有這些組件放在一起,創(chuàng)建了一個(gè)熱浴盆來(lái)平衡所有設(shè)備的溫度,因此平均而言,凈溫度較低。圖中的虛線(xiàn)是 2.5 MHz 下的相同設(shè)備。黑色 X 代表老化功率 MOSFET 在此應(yīng)用中可達(dá)到的最佳性能。?
除了飛行時(shí)間示例外,集成功率級(jí)已在三相電機(jī)驅(qū)動(dòng)應(yīng)用中進(jìn)行測(cè)試,如圖 8 所示。該應(yīng)用的優(yōu)勢(shì)在于能夠?yàn)殡姍C(jī)驅(qū)動(dòng)提供更高的開(kāi)關(guān)頻率,從而減小了尺寸(該解決方案僅為 45 毫米 x 55 毫米),減輕了重量,降低了可聞噪音,并提供了更高的電機(jī)定位精度。電機(jī)的定位對(duì)于許多機(jī)器人實(shí)現(xiàn)至關(guān)重要。

圖 8:使用 EPC2152、ePower? Stage(圓圈)的 500 W 三相電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路的照片。
氮化鎵的未來(lái)
圖 9 顯示了正在進(jìn)行的 eGaN 技術(shù)之旅的總結(jié)。EPC 是其分立平臺(tái)的“第五代加號(hào)”,如圖 9 的頂部欄所示。對(duì)于集成電路,從單片半橋開(kāi)始后來(lái)擴(kuò)展到添加更多功能和特性,如圖 9 的底部欄所示圖 9。?
上一節(jié)中討論的單片功率級(jí) IC 執(zhí)行與基于硅 MOSFET 的多芯片 DrMOS 模塊相同的所有基本功能,但電壓更高,開(kāi)關(guān)速度更快,占用空間更小,成本更低。這些第一代功率級(jí)僅包括電容器、電阻器和橫向 n 溝道 FET。很快,額外的電流和溫度感測(cè)可以與參考、比較器和運(yùn)算放大器等電路塊一起包含在內(nèi),以在單個(gè)芯片上構(gòu)建集成控制器和輸出級(jí)。還可以集成多級(jí)拓?fù)?,從而以較低電壓的功率器件實(shí)現(xiàn)較高的輸入電壓。

圖 9:GaN 技術(shù)分立和集成開(kāi)發(fā)路線(xiàn)圖
幾年后,分立技術(shù)與集成電路的融合將會(huì)發(fā)生。隨著分立器件實(shí)現(xiàn)越來(lái)越高的功率密度,將不再可能從器件上的凸塊和條中提取電流。因此,集成到小型、多芯片、多功能集成電路中將是必要的。在接下來(lái)的三到四年內(nèi),電源轉(zhuǎn)換中的分立晶體管可能會(huì)慢慢過(guò)時(shí),集成解決方案將成為設(shè)計(jì)人員在構(gòu)建電源系統(tǒng)時(shí)選擇的組件。
整合的挑戰(zhàn)
在實(shí)現(xiàn)完整的 GaN 片上系統(tǒng)解決方案之前,還存在一些挑戰(zhàn)。首先,氮化鎵中還沒(méi)有 p 溝道器件,這使得電路設(shè)計(jì)變得更加困難。尤其是制作好的CMOS電路是不可能的。其次,預(yù)先設(shè)計(jì)的電路塊較少。
GaN 是一種相對(duì)較新的技術(shù),因此沒(méi)有一個(gè)龐大的電路塊庫(kù),可以簡(jiǎn)單地“剪切和粘貼”來(lái)制造在第一次通過(guò)就可以工作的大型系統(tǒng)。電路塊庫(kù)的缺乏使得設(shè)計(jì)階段比純預(yù)先設(shè)計(jì)的電路塊更長(zhǎng),因?yàn)樵O(shè)計(jì)過(guò)程需要更多的迭代,并且 IC 設(shè)計(jì)人員的技能水平更高。第三,分立技術(shù)持續(xù)快速發(fā)展,GaN距離其理論性能極限還有300倍的距離。
如果IC平臺(tái)的增長(zhǎng)不能快速跟隨分立平臺(tái),IC將無(wú)法產(chǎn)生分立晶體管仍然可以實(shí)現(xiàn)的性能優(yōu)勢(shì)。因此,克服這些挑戰(zhàn)所需的是實(shí)現(xiàn) IC 設(shè)計(jì)功能自動(dòng)化的工藝設(shè)計(jì)套件的極速開(kāi)發(fā),以及與快速技術(shù)發(fā)展步伐保持同步的設(shè)計(jì)套件的迭代。
審核編輯:劉清
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