MEMS電容技術(shù)能以最低功率實現(xiàn)超低噪音，獲得行業(yè)領(lǐng)先的相對精度、傳感器吞吐量和溫度穩(wěn)定性，TDK-InvenSense氣壓傳感器系列就是基于這項技術(shù)開發(fā)的。該壓力傳感器能以±1Pa的精度測量壓力差，這個精度可使高度測量差小至5cm，小于一級臺階的高度。

TDK ICP-101 xx壓力傳感器系列就是基于MEMS電容技術(shù)，以最低功率提供超低噪音，獲得行業(yè)領(lǐng)先的相對精度、傳感器吞吐量和溫度穩(wěn)定性。

電容壓力傳感技術(shù)克服了以往壓阻技術(shù)的諸多挑戰(zhàn)，提高了整體性能。下面是這兩種結(jié)構(gòu)的比較 ：

壓阻 測量應(yīng)變	電容 測量電容
隔膜 頂視圖	隔膜 側(cè)視圖
檢測因應(yīng)力發(fā)生的隔膜變形將應(yīng)力轉(zhuǎn)換成電信號	直接將隔膜變形轉(zhuǎn)換成電信號

噪音和功率

電容壓力傳感器的結(jié)構(gòu)優(yōu)勢實現(xiàn)了無與倫比的超低噪聲和功率水平，超過壓阻傳感器所能達到的水平。以下是TDK的ICP-101 xx電容壓力傳感器系列與普通工業(yè)壓阻傳感器的噪音和功率圖（輸出數(shù)據(jù)速率為1Hz時） ：

圖1 噪音和功率

ICP-101 xx壓力傳感器系列的本底噪聲小于0.4Pa-RMS，實現(xiàn)了小于±1Pa的壓力測量差，這個精度使高度測量差小到5cm，小于一級臺階的高度。

圖2最低壓力噪音和相對精度

溫度穩(wěn)定性

壓阻與電容壓力傳感器

因為壓阻對溫度變化非常敏感，電容壓力傳感器天生就比基于壓阻的傳感器具有更高的溫度穩(wěn)定性。ICP-101xx壓力傳感器系列實現(xiàn)了行業(yè)領(lǐng)先的溫度系數(shù)偏差±0.5Pa/°C，使設(shè)備在一個很寬的溫度范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。

TDK的電容壓力傳感器具有超低噪音、超低功率和溫度穩(wěn)定性，達到了新的性能水平，使現(xiàn)有的壓阻技術(shù)不可能實現(xiàn)的用例成為可能。

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