據(jù)韓國(guó)《中央日?qǐng)?bào)》4日?qǐng)?bào)道，在日本政府限制向韓國(guó)出口氟化氫、光刻膠、含氟聚酰亞胺等尖端半導(dǎo)體材料一個(gè)半月后，三星電子開(kāi)始使用替代產(chǎn)品。

報(bào)道稱(chēng)，三星電子和SK海力士尋找日產(chǎn)氟化氫替代材料的工作比預(yù)期進(jìn)展順利，預(yù)計(jì)到年底前后，可以完全替代日本產(chǎn)品。

韓國(guó)半導(dǎo)體業(yè)界消息稱(chēng)，三星電子已經(jīng)從8月中旬開(kāi)始把韓國(guó)國(guó)內(nèi)企業(yè)“Soulbrain”和“ENF TECH”生產(chǎn)的氟化氫用于部分工程。

不過(guò)，三星電子目前尚未把國(guó)產(chǎn)氟化氫用于所有半導(dǎo)體生產(chǎn)工程。三星電子相關(guān)人士說(shuō)，“將首先把國(guó)內(nèi)企業(yè)生產(chǎn)的氟化氫試驗(yàn)品投入到敏感度較低的工程，未來(lái)再陸續(xù)投入到高敏感度的工程”。

據(jù)了解，半導(dǎo)體工程大約由500項(xiàng)工程構(gòu)成，其中需要氟化氫的工程有50項(xiàng)左右。也就是說(shuō)，三星電子先把國(guó)產(chǎn)氟化氫應(yīng)用到其中的1-2項(xiàng)工程中，用來(lái)取代日本產(chǎn)品。

SK海力士也計(jì)劃盡快對(duì)國(guó)內(nèi)企業(yè)生產(chǎn)的氟化氫進(jìn)行試用。據(jù)了解，SK海力士設(shè)在中國(guó)無(wú)錫的半導(dǎo)體工廠已經(jīng)完全使用中國(guó)生產(chǎn)的氟化氫取代了日本產(chǎn)品。

同時(shí)，三星電子和SK海力士負(fù)責(zé)材料開(kāi)發(fā)的工程師正在對(duì)國(guó)產(chǎn)氟化氫試驗(yàn)品進(jìn)行成分分析，旨在根據(jù)半導(dǎo)體工廠的要求，對(duì)國(guó)內(nèi)企業(yè)生產(chǎn)的氟化氫成分含量進(jìn)行調(diào)整。

報(bào)道稱(chēng)，這相當(dāng)于三星電子和海力士與國(guó)內(nèi)材料企業(yè)一起進(jìn)行“共同研發(fā)”。只有產(chǎn)品成分結(jié)構(gòu)與以往使用的日本Stella和Morita公司產(chǎn)品接近，沒(méi)有大的差異，在用于半導(dǎo)體工程時(shí)才不會(huì)生產(chǎn)出缺陷產(chǎn)品。

此外，韓國(guó)國(guó)內(nèi)材料企業(yè)“Soulbrain”忠南公州工廠的擴(kuò)建工程如果按計(jì)劃在本月末竣工，韓國(guó)國(guó)產(chǎn)氟化氫的產(chǎn)能有望進(jìn)一步擴(kuò)大。

“Soulbrain”和“ENF TECH”以前一直從日本Stella和Morita進(jìn)口氟化氫進(jìn)行提純，然后制作成半導(dǎo)體工程使用的蝕刻劑材料，向三星供貨。在日本限制對(duì)韓出口后，這些國(guó)內(nèi)企業(yè)開(kāi)始從中國(guó)***和中國(guó)大陸進(jìn)口氟化氫。