中國電科集成電路成套裝備國產(chǎn)化集成及驗證平臺工程——楚微半導體科技股份有限公司項目進展順利，或早于此前規(guī)劃實現(xiàn)產(chǎn)線運行。公司確保今年底整線工藝串通并實現(xiàn)首片晶圓下線，實現(xiàn)國內(nèi)第一條集成電路裝備驗證工藝線在湖南運行。

據(jù)悉，中國電子科技集團公司第四十八研究所致力于在半導體工藝設備與研發(fā)，在長沙市高新區(qū)成立了湖南楚微半導體科技有限公司。湖南楚微半導體科技有限公司實施 8 英寸線集成電路國產(chǎn)化設備集成及驗證，并進行相關工藝產(chǎn)品規(guī)模制造，以整線工藝驗證設備的模式替代過去的單機臺驗證模式，實現(xiàn)成套成體系國產(chǎn)化設備與工藝相結合。項目總投資 25 億元，建設 8 英寸集成電路裝備驗證工藝線。

中電科集成電路成套裝備國產(chǎn)化集成及驗證平臺建設項目是長沙高新區(qū)重大在建產(chǎn)業(yè)項目之一，2018 年 11 月底開工建設；2019 年 9 月 28 日，廠房主體結構封頂。

在該項目封頂活動上，中電科電子裝備集團有限公司黨委書記、董事長，48 所黨委書記左雷表示，項目廠房主體封頂只是工程建設的一半，更關鍵更繁雜的工作還在后面，希望大家以此為新的起點，繼續(xù)搞好后續(xù)工程建設，把項目建成樣板工程、示范工程、精品工程，更好服務國家戰(zhàn)略和地方經(jīng)濟發(fā)展。

據(jù)悉，該項目一期建成后將提供同時 20 臺套設備在線的驗證能力，年驗證能力超 40 臺。在此基礎上，項目二期將進一步完善發(fā)展，形成 12 英寸集成電路裝備的驗證能力。項目原預計 2021 年竣工投產(chǎn)。