超聲波電機的工作原理

與傳統(tǒng)的電機不同，超聲波電機無繞組和磁極，無需通過電磁作用產(chǎn)生運動力。一般由振動體（相當于傳統(tǒng)電機中的定子，由壓電陶瓷和金屬彈性材料制成）和移動體（相當于傳統(tǒng)電機中的轉(zhuǎn)子，由彈性體和摩擦材料及塑料等制成）組成。在振動體的壓電陶瓷振子上加高頻交流電壓時，利用逆壓電效應(yīng)或電致伸縮效應(yīng)使定子在超聲頻段（頻率為20KHZ以上）產(chǎn)生微觀機械振動。并將這種振動通過共振放大和摩擦耦合變換成旋轉(zhuǎn)或直線型運動。

實現(xiàn)超聲波驅(qū)動有兩個前提條件：首先，需在定子表面激勵出穩(wěn)態(tài)的質(zhì)點橢圓運動軌跡；其次，將定子表面質(zhì)點水平方向的微觀運動轉(zhuǎn)換成轉(zhuǎn)子的宏觀運動或平動。第一個前提條件對應(yīng)著機電能量轉(zhuǎn)換，利用逆壓電效應(yīng)由電能轉(zhuǎn)化成機械振動能：第二個前提條件對應(yīng)著運動形式轉(zhuǎn)化，往往通過定轉(zhuǎn)子間的摩擦力來實現(xiàn)，近年來亦有通過氣體或液體為中間介質(zhì)接觸為非接觸型超聲波電機，也稱為聲懸浮超聲波電機。從超聲電機的工作原理可見，其正常工作離不開兩個能量轉(zhuǎn)換作用：機電轉(zhuǎn)換作用和摩擦轉(zhuǎn)換作用。機電轉(zhuǎn)換作用是指壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)，即對壓電陶瓷振子加高頻振蕩電流，使它以超聲波的頻率振動。摩擦轉(zhuǎn)換作用是指彈性體（定子與壓電陶瓷的合稱）的振動經(jīng)過定子與轉(zhuǎn)子工作面間的摩擦作用轉(zhuǎn)化成轉(zhuǎn)子的直線運動或旋轉(zhuǎn)運動。要保證大力矩輸出、止動性好，必須滿足的條件就是有效足夠的機電轉(zhuǎn)換作用和有效穩(wěn)定的摩擦轉(zhuǎn)換作用。

超聲波電機特點

給超聲波電機輸入驅(qū)動電壓后，壓電材料產(chǎn)生壓電現(xiàn)象，同時發(fā)生的縱向延伸和橫向彎曲模式的激勵在陶瓷指尖的狹小的橢圓通道里產(chǎn)生二維聲波，從而產(chǎn)生驅(qū)動力進行直線或旋轉(zhuǎn)運動。但沒有驅(qū)動電壓的時候能夠維持一個保持力矩，不產(chǎn)生位移和滯后。

可用在從普通環(huán)境到超高真空環(huán)境的半導(dǎo)體設(shè)備、平面平臺設(shè)備、光學纖維制動態(tài)元件制造、存儲介質(zhì)制造和測試設(shè)備、生物醫(yī)藥和制藥、度量衡和超高精度的微型數(shù)控等設(shè)備中。

具有定位精確，分辨率可達1μm，精度10nm，運動速度平穩(wěn)，低10μm/s，高250mm/s，標準應(yīng)答時間為50～75μs，整定時間明顯優(yōu)于一般伺服電動機，以0.1μm的分辨率為例，只需1～2ms，為一般伺服電動機的1/10，定位后沒有一般伺服電動機存在的晃動問題，而且超聲波電機具有重量輕，體積小，行程無限制等特點。

來源：運控伺服

審核編輯 黃昊宇