XD107系列壓電掃描臺是一款定制設計的三維運動的壓電平臺，具有特殊的負載安裝孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，適用于樣品顯微成像/掃描、微納米范圍的對準、納米聚焦、測量等應用。

XD107系列壓電掃描臺內(nèi)部采用機構(gòu)放大式驅(qū)動原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷、無摩擦柔性鉸鏈導向機構(gòu)，可實現(xiàn)XY向100μm/軸、Z向80μm位移。具有非常高的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性都可達nm級，定位響應時間也可達ms級。

該壓電掃描臺可根據(jù)應用需求選配閉環(huán)傳感器，以獲取更高的精度。

產(chǎn)品特點

?XYZ三維運動

?行程可達100μm

?承載能力0.4kg

?中心通孔50×50mm

產(chǎn)品應用

?掃描顯微鏡

?掩模/晶圓定位

?干涉、度量衡學

?生物技術

?微操作

引線連接器

XD107系列壓電掃描臺的連接器共有2組，每組有3個，一組用于電壓驅(qū)動信號的傳輸，一組用于傳感反饋信號的傳輸。連接器的配置主要取決于所選配的壓電控制器的連接器類型。XD107系列的連接器是為了匹配芯明天E00/E01系列壓電控制器（下方右圖），若更換其他壓電控制器，可更換為其他相應的連接器類型。

電壓位移曲線

下圖中為XD107系列壓電掃描臺的XY向的驅(qū)動電壓與位移曲線。

線性度曲線

技術參數(shù)

型號：XD107.XY100Z20S

運動方向：X、Y、Z

標稱行程范圍（0~120V）：XY80/Z64μm

行程范圍（0~150V）：XY100/Z80μm

傳感器類型：SGS

閉環(huán)分辨率：3nm

閉環(huán)線性度：0.1%F.S.

閉環(huán)重復定位精度：Z0.02%F.S.

俯仰/偏航/滾動：≤30μrad

空載諧振頻率：XY220/Z160Hz

帶載400g諧振頻率：XY110/Z80Hz

承載能力：0.4kg

靜電容量：XY3.6/Z1.8μF

材質(zhì)：鋼、鋁

通孔尺寸：50×50mm

外形尺寸：94×94×24.5mm

重量：420g

應用舉例