當(dāng)科技的探索深入微觀世界，越來越多的科學(xué)領(lǐng)域?qū)芏ㄎ欢加兄鴺O致需求，如激光加工確保光束納米級穩(wěn)定聚焦、在半導(dǎo)體檢測中實(shí)現(xiàn)晶圓精準(zhǔn)對位、在生物醫(yī)療進(jìn)行超分辨率顯微成像等，這些應(yīng)用場景都有著同樣的核心需求——多自由度、高精度、快速響應(yīng)的精密運(yùn)動。H64A.XYZTR2S/K-C系列壓電納米偏擺臺為六自由度運(yùn)動高精度壓電偏擺臺，利用壓電驅(qū)動技術(shù)，為光學(xué)、半導(dǎo)體、生物醫(yī)療、微納制造等領(lǐng)域提供納米級精密運(yùn)動解決方案。

H64A.XYZTR2S/K-C系列是X、Y、Z、θx、θy、θz六軸運(yùn)動壓電納米定位臺，可產(chǎn)生六軸的超精密運(yùn)動，適用于靜態(tài)定位和動態(tài)調(diào)姿。該定位臺內(nèi)部采用并聯(lián)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)更好動態(tài)性。其內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn)X±9/Y±9.5/Z155μm的直線位移和θxθy±1.1/θz±1mrad的偏轉(zhuǎn)角度。閉環(huán)版本全橋設(shè)計(jì)避免了溫度的漂移，確保了納米級定位精度。

產(chǎn)品特點(diǎn)

六維 X、Y、Z、θx、θy、θz軸運(yùn)動

直線行程：X±9/Y±9.5/Z155μm

偏轉(zhuǎn)行程：θxθy±1.1/θz±1mrad

閉環(huán)定位精度高

承載可達(dá)12kg

內(nèi)部采用并聯(lián)機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)更好動態(tài)性

典型應(yīng)用

1.晶圓調(diào)姿：可通過壓電偏擺臺各維度的精密定位將晶圓調(diào)整到正確位姿，以滿足對晶圓進(jìn)行各類工藝操作，在晶圓加工、晶圓檢測和光刻等技術(shù)中廣泛應(yīng)用，且在應(yīng)用中起到至關(guān)重要的作用，對芯片的制造質(zhì)量和性能有直接影響。

注：圖片來源于網(wǎng)絡(luò)

2.模擬空間擾動：空間擾動模擬是用于模擬物理系統(tǒng)中的空間擾動現(xiàn)象。它可以用來研究流體力學(xué)、熱力學(xué)、電磁學(xué)等領(lǐng)域中的現(xiàn)象，如湍流、熱對流、電磁波傳播等。壓電偏擺旋轉(zhuǎn)臺可以模擬空間中的微小擾動，如微小振動、微小旋轉(zhuǎn)等，以便測試和驗(yàn)證部件的姿態(tài)，控制系統(tǒng)的性能。

注：圖片來源于網(wǎng)絡(luò)

3.激光通信：在激光通信中，無論是地面站與地面站之間，還是地面站與衛(wèi)星、飛機(jī)等移動平臺之間的通信，確保發(fā)射端與接收端的激光束精確對準(zhǔn)是實(shí)現(xiàn)高效通信的基礎(chǔ)。六自由度壓電偏擺臺憑借其精準(zhǔn)操控能力，能夠?qū)す獍l(fā)射與接收裝置進(jìn)行納米級的位置與角度調(diào)整。

注：圖片來源于網(wǎng)絡(luò)

技術(shù)參數(shù)

配套控制器

E00.D6K04機(jī)箱式壓電控制器適用于驅(qū)動H64A.XYZTR2S/K-C系列六自由度壓電偏擺臺。此款壓電控制器具有6個(gè)輸出通道，輸出電壓0~150V，帶寬可達(dá)10kHz，可通過模擬或數(shù)字信號進(jìn)行控制，可通過RS-422串口進(jìn)行上位機(jī)通信。

E00.D6K04壓電控制器前、后面板

審核編輯 黃宇