格芯獲3000萬(wàn)美元資金，加速硅基氮化鎵產(chǎn)業(yè)化
據(jù)外媒報(bào)道，格芯（Globalfoundries Inc.）日前獲得3000萬(wàn)美元的聯(lián)邦資金支持，用于在其位于佛蒙特州的晶圓廠開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)硅基氮化鎵（GaN-on-Si）晶圓，該工廠目前每月可生產(chǎn)超過(guò)5萬(wàn)片晶圓。
報(bào)道顯示，該筆撥款是2022財(cái)年綜合撥款法案的一部分，來(lái)自于美國(guó)國(guó)防部可信訪問(wèn)計(jì)劃辦公室 (TAPO) ，自2019年以來(lái)，TAPO一直積極支持軍民兩用硅基氮化鎵技術(shù)研發(fā)，新的款項(xiàng)將資助格芯采購(gòu)設(shè)備并開(kāi)始在8英寸產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)硅基氮化鎵量產(chǎn)。
與傳統(tǒng)GaN-on-SiC等技術(shù)路線相比，硅基氮化鎵選用的襯底成本與可及性有顯著優(yōu)勢(shì)，GaN外延生長(zhǎng)缺陷也顯著降低。
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