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      9.5.12 光敏聚酰亞胺PSPI∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》

      深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-02-18 10:11 ? 次閱讀
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      Photosensitive Polyimid

      撰稿人：中國科學院化學研究所 楊士勇

      審稿人：復旦大學 鄧海

      9.5 光掩模和光刻膠材料

      第9章 集成電路專用材料

      《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》下冊

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