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阜時(shí)全固態(tài)激光雷達(dá)面陣SPAD芯片榮獲廣東省科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)

MEMS ? 來源:MEMS ? 2023-11-30 09:47 ? 次閱讀
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11月27日,阜時(shí)科技收到了廣東省人民政府頒發(fā)的廣東省科技進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)證書

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阜時(shí)科技全固態(tài)激光雷達(dá)面陣SPAD芯片,是基于此次獲獎(jiǎng)項(xiàng)目的技術(shù)沉淀,通過公司上百名研發(fā)人員傾全力開發(fā),今年流片出來。這是國內(nèi)第一款全固態(tài)激光雷達(dá)面陣SPAD芯片,通過先進(jìn)的BSI背照式工藝架構(gòu),解決了高靈敏度感光和dToF高速數(shù)字運(yùn)算的底層硬件難題,達(dá)到了150線掃描、每秒輸出54萬點(diǎn)云的面區(qū)域激光雷達(dá)探測(cè)覆蓋,超越了日本芯片,實(shí)現(xiàn)了目前全世界最高輸出分辨率的激光雷達(dá)性能。

該項(xiàng)目成果整體技術(shù)與應(yīng)用達(dá)到國際先進(jìn)水平,具有顯著的社會(huì)效益,填補(bǔ)國內(nèi)空白,打破國外廠商壟斷,解決了國家重大戰(zhàn)略需求的“卡脖子”問題,實(shí)現(xiàn)自主可控掌握底層器件技術(shù),可帶動(dòng)下游激光雷達(dá)應(yīng)用市場(chǎng)高速成長。

作為芯片設(shè)計(jì)開發(fā)領(lǐng)域唯一民營機(jī)構(gòu)牽頭獲獎(jiǎng)項(xiàng)目,阜時(shí)科技自主研發(fā)的核心技術(shù)獲得廣東省及深圳市相關(guān)部門的一致認(rèn)可。評(píng)審委員會(huì)專家在評(píng)審過程中,對(duì)阜時(shí)科技的芯片研發(fā)能力、器件測(cè)試效果,均給予了高度評(píng)價(jià)。本項(xiàng)目成果圍繞深度光感器件精確度和反應(yīng)速度、可靠性以及光傳感芯片的封裝難題等瓶頸問題,從直接激光飛行時(shí)間(dToF)測(cè)距技術(shù)路徑、進(jìn)行高性能單光子雪崩二極管元器件(SPAD)的工藝研究,對(duì) SPAD器件占位檢測(cè)、可靠性、底層原理、工藝仿真等各個(gè)層面,系統(tǒng)研發(fā)三維機(jī)器視覺芯片深度光感測(cè)元器件。

基于內(nèi)部研究院的創(chuàng)新理論研究,阜時(shí)科技近年來投入巨額研發(fā),與晶圓廠合作多次進(jìn)行 SPAD 器件工藝的實(shí)驗(yàn)流片,屢次迭代調(diào)試工藝,成功使得單光子雪崩二極管器件工藝達(dá)到穩(wěn)定良率、高性能、低功耗、小型化水平,滿足可產(chǎn)品化落地的高標(biāo)準(zhǔn)。






審核編輯:劉清

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原文標(biāo)題:阜時(shí)全固態(tài)激光雷達(dá)面陣SPAD芯片榮獲廣東省科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)

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