萬業(yè)企業(yè)旗下子公司凱世通近期向兩家客戶分別提供了多部12英寸集成電路低能大束流離子注入機，此舉標志著凱世通設備在在經過客戶端設備驗證之后，迅速獲得大量訂單。

離子注入機在芯片制造中具有重要地位，不僅驗證困難，研發(fā)難度也極高，被視為當前半導體發(fā)展的核心裝備和必需的國產替代設備。其中，低能大束流離子注入機占據(jù)大約60％的市場份額。由于技術門檻較高，其研發(fā)和生產技術與國際領先水平還有較大差距。

據(jù)業(yè)內人士透露，凱世通長期專注于該行業(yè)，產品已應用于邏輯、存儲、功率等多個應用領域。他們所生產的低能大束流離子注入機和高能離子注入機已經實現(xiàn)了產業(yè)化突破，無論是工藝覆蓋面，還是良品率，甚至產能，都處于業(yè)界領先位置。公司堅持正向設計和自主創(chuàng)新，掌握了大束流離子源、視覺對準系統(tǒng)、高均勻性AMU、固態(tài)源蒸發(fā)器、束流均勻性調節(jié)裝置、減速裝置等一系列關鍵技術模塊，成功解決了極低能和大束流之間的技術難題。

除此之外，為了提升精度，減少污染，以及提高產能，凱世通研發(fā)了五軸控制的機器人、高精度視覺對準系統(tǒng)等硬件和基于物理模型算法和專家系統(tǒng)的Beam Auto Tune軟件系統(tǒng)，實現(xiàn)了離子注入機工作過程中的智能控制。而他們的離子注入機現(xiàn)在已經具備了Glitch自動修復功能，確保了機器在任何環(huán)境下都能安全、穩(wěn)定地運行。其中，在今年上半年，凱世通共獲得了139項專利授權，包括83項發(fā)明專利。這些成果使得凱世通榮獲“中國半導體領域高質量引領企業(yè)”稱號，并成為首個完成國產高能離子注入機產線驗證和驗收的廠商。