FixInst榮獲“科技創(chuàng)新獎優(yōu)秀獎”！
經過 FixInst 材料研發(fā)團隊的不懈努力，項目《基于晶振微天平原理的超低濕度測量技術及應用》研發(fā)落地成功！
在《2022年度民營科技發(fā)展貢獻獎》評選中，成功榮獲了由中華人民共和國科學技術部、國家科學技術獎勵工作辦公室批準設立、中國民營科技促進會頒發(fā)的“科技創(chuàng)新獎優(yōu)秀獎”！
項目介紹
FIXINST-Q QCM雙QCM濕度敏感層的多孔結構
應用方向：
氣體純度品質其中一個核心參數的檢測。例如電子特氣 (>5N) 幾乎貫穿整個半導體制程工藝包括沉積、光刻、刻蝕、擴散、退火等關鍵工序。其雜質含量直接影響晶圓廠的技術指標和良率
項目優(yōu)勢：
超低露點（-120 ℃td）濕敏材料的成功研發(fā)，可檢測超高純度 (>6N) 電子特氣的雜質含量；雙QCM傳感器的專利方案，可實時在線進行污染補償，大大改善了QCM怕污染的弱點
目前產業(yè)化應用產品：
F138x 系列 QCM露點及壓力多參數變送器F141x 系列 雙QCM標準型露點變送器
審核編輯：劉清
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原文標題：企業(yè)榮譽 | FixInst 榮獲科技創(chuàng)新獎優(yōu)秀獎！
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