北京北方華創(chuàng)微電子裝備公司研發(fā)新型電源控制技術與裝置、半導體
天眼查數據顯示，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司于2024年4月5日公開了一項名為“電源控制方法和裝置、半導體工藝設備”的專利，編號為CN117832051A。
此項技術主要涉及到電源控制以及半導體工藝設備領域。具體而言，該專利包括如下步驟：首先，啟動待控制電源；接著確定該待控制電源是作為上極電源還是下極電源工作；然后，獲取待控制電源的反射功率信息；根據反射功率信息計算出維持待控制電源開啟所需的第一補償時長；最后，將待控制電源的開啟時長更新為設定開啟時長與第一補償時長之和，并在達到更新后的開啟時長時關閉待控制電源。
據稱，這項技術可有效提升晶圓間刻蝕的一致性，防止刻蝕量不足，從而提高產品良率。
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