這款新型 Coherent AVIA LX 355-30 納秒紫外 (UV) 激光器具有無與倫比的高輸出功率、可靠性和長使用壽命，極大地提高了高精度切割、鉆孔和微結構任務的生產(chǎn)效率，尤其是在微電子生產(chǎn)領域。 具體來說，AVIA LX 在 355 nm(脈沖能量高達 500 μJ)下輸出 30 W，并提供了無與倫比的 20,000 小時連續(xù)三倍頻晶體壽命，沒有任何光斑偏移。 這將提高工藝一致性，縮短維護停機時間。

為什么微電子處理應用能從紫外激光器中受益

紫外激光器可為各種工業(yè)任務提供動力，特別是在微電子和顯示屏制造領域。 這是因為紫外光具有獨特的特性，能夠以更高的精度完成微加工和其他結構化任務，并減小對零件的熱損傷。

紫外激光器能做到這一點有三大原因。 首先，幾乎所有材料(塑料、有機材料、金屬和半導體)都會強烈吸收紫外光。 因此，激光能量可以有效地處理材料，而不僅僅是直接穿過材料。 這也使得紫外激光器特別擅長于處理在微電子和其他工業(yè)領域廣泛使用的復合材料和多層材料。

其次，高吸收率也意味著紫外線激光不會滲透到材料中，從而能夠有效地將所謂的“熱影響區(qū)”(HAZ) 的大小降至最小。HAZ 是激光產(chǎn)生的特征(切割、孔等)周圍的區(qū)域，這些區(qū)域可能會被激光損壞或改變其特性。

第三，紫外光可以比長波長的可見光或紅外光 (IR) 更好地聚焦。 這意味著紫外激光器可以制造更小的孔或更窄的切口。

納秒激光器集所有優(yōu)點于一處

納秒脈寬二極管泵浦固態(tài)激光器是備受歡迎的工業(yè)紫外光源，因為對于大多數(shù)制造商來說，它們集中了所有激光器的優(yōu)點。 它們在經(jīng)濟層面具有吸引力(以每瓦美元計)，通常以相對較高的脈沖重復率運行，并且還具有相當高的輸出功率。 由此可產(chǎn)生成本效益，提高產(chǎn)能。

但制造商一直在尋求進一步改進其工藝并降低成本。 就激光源而言，這通常意味著需要提高輸出功率，因為這通常能夠提高工藝吞吐量。

使用固態(tài)紫外激光器這樣做只有一個小問題。 (實際上，有很多問題，但我們在這里只討論其中一個!) 這是因為固態(tài)激光器發(fā)射紅外 (IR) 光。 因此，我們在激光器內(nèi)部使用三次諧波振蕩 (THG) 晶體將紅外光轉換為紫外光。

但是，還記得紫外光在大多數(shù)材料中能夠被很好地吸收嗎? 這意味著很難避免在 THG 晶體中至少會被吸收一些激光能量。 而且，因為 THG 晶體在激光器內(nèi)部，所以它會暴露在大量的紫外光下。

解決這個問題的一個方法是在激光器中建立一種機制，定期以物理方式移動 THG 晶體。 這個想法是要不斷改變激光束在晶體中的聚焦位置，以免在任何特定位置發(fā)生災難性故障。

這種方法效果很好，相干公司已在我們的產(chǎn)品上使用多年。 但是，很顯然，這會增加激光器的成本和復雜性。 此外，每次將晶體轉移到新位置時，輸出功率和其他光束參數(shù)都會發(fā)生細微變化，這會對工藝產(chǎn)生影響，進而影響零件質量。

另一種方法是完全忽略此問題，將 THG 晶體保持在一個光斑上，直到激光熄滅。 這能夠降低激光頭成本，但同時會降低激光器可靠性、影響輸出一致性或縮短使用壽命(<3000?小時)，只要您不介意這一點，這也不失為一個好主意。

用于微電子制造的可靠紫外光功率

現(xiàn)在，相干公司可以采用一種更佳方法，我們稱之為 PureUV。 采用這種方法時，實際上是將幾個專有晶體生長、制備和裝配步驟進行組合。 最終結果是這種高質量和低紫外光吸收率的 THG 晶體在單個光斑上具有 20,000 小時的免維護壽命。 這樣就不會產(chǎn)生光斑偏移和周期性停機，激光參數(shù)也不會有任何變化。 而且不會產(chǎn)生故障，從而提升性能。

相干公司可以實現(xiàn) PureUV，因為我們是提供從晶體生長到最終激光器裝配服務的垂直集成供應商。 這使我們能夠完全掌控生產(chǎn)的每個階段，并使我們能夠實施極其嚴格的質量和工藝控制措施。

新型 30 W AVIA LX 355 是我們推出的第一款采用 PureUV 的產(chǎn)品。 而且，這款產(chǎn)品能夠盡可能提高紫外線功率，同時仍提供無與倫比的使用壽命和可靠性。

審核編輯 黃宇