近日，由中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)主辦的首屆科學(xué)儀器開發(fā)者大會(huì)在山東青島成功舉辦。大會(huì)以“創(chuàng)新點(diǎn)亮未來(lái)”為主題，匯聚了科學(xué)儀器研發(fā)領(lǐng)域的專家學(xué)者和眾多優(yōu)秀企業(yè)代表，共同分享與探索科學(xué)儀器創(chuàng)新與應(yīng)用之道。作為國(guó)內(nèi)首家EDA上市公司、關(guān)鍵核心技術(shù)具備國(guó)際市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的EDA領(lǐng)軍企業(yè)，概倫電子也長(zhǎng)期為客戶提供行業(yè)領(lǐng)先的半導(dǎo)體參數(shù)量測(cè)產(chǎn)品和解決方案。當(dāng)日，概倫電子研發(fā)副總裁李淼先生受邀出席大會(huì)，并致《先進(jìn)半導(dǎo)體參數(shù)量測(cè)設(shè)備的設(shè)計(jì)與應(yīng)用》主題演講。

概倫電子研發(fā)副總裁 李淼先生

務(wù)實(shí)篤行，護(hù)航應(yīng)用發(fā)展

隨著新材料、新工藝、新結(jié)構(gòu)的不斷發(fā)展，新型半導(dǎo)體器件和工藝的研發(fā)正面臨著更小物理尺度、更高功率密度、更復(fù)雜物理效應(yīng)和失效機(jī)制等方面的挑戰(zhàn)。測(cè)試電性、噪聲等半導(dǎo)體關(guān)鍵參數(shù)可幫助研發(fā)人員對(duì)器件性能和可靠性進(jìn)行快速精確分析，為半導(dǎo)體工藝平臺(tái)開發(fā)、芯片設(shè)計(jì)和EDA應(yīng)用提供高效、高質(zhì)量、高附加值的數(shù)據(jù)支撐，進(jìn)而優(yōu)化工藝配方，改進(jìn)器件性能，縮短研發(fā)迭代周期。

在半導(dǎo)體器件表征儀器開發(fā)與應(yīng)用創(chuàng)新分會(huì)場(chǎng)，概倫電子研發(fā)副總裁李淼先生與業(yè)界專家就半導(dǎo)體參數(shù)量測(cè)設(shè)備在集成電路工藝控制優(yōu)化、可靠性分析等實(shí)踐應(yīng)用領(lǐng)域中的重要作用進(jìn)行了探討，進(jìn)一步分析了市場(chǎng)規(guī)模和發(fā)展趨勢(shì)、不同應(yīng)用領(lǐng)域的獨(dú)特測(cè)試需求，以及在這些需求驅(qū)動(dòng)下國(guó)產(chǎn)化半導(dǎo)體參數(shù)量測(cè)設(shè)備的快速發(fā)展和技術(shù)挑戰(zhàn)，例如不斷提升基本測(cè)試模組的性能和性價(jià)比，對(duì)測(cè)試方法、測(cè)試設(shè)備與測(cè)試方案進(jìn)行系統(tǒng)級(jí)優(yōu)化，甚至建立新興測(cè)試應(yīng)用領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)等。為應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn)，李淼先生和與會(huì)各界一起探討了參數(shù)量測(cè)設(shè)備的產(chǎn)品與研發(fā)創(chuàng)新方向，并介紹了概倫電子自主研發(fā)的新一代半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試平臺(tái)和部分測(cè)試模組成果。

【圓桌討論】半導(dǎo)體器件表征儀器開發(fā)與應(yīng)用創(chuàng)新

李淼先生表示，概倫電子是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體參數(shù)量測(cè)設(shè)備開發(fā)的先行者，長(zhǎng)期致力于為客戶提供行業(yè)領(lǐng)先的半導(dǎo)體參數(shù)量測(cè)產(chǎn)品和解決方案，始終以應(yīng)用為導(dǎo)向，攜手產(chǎn)學(xué)研用各界一起，突破半導(dǎo)體領(lǐng)域新研究、新應(yīng)用的邊界，深耕技術(shù)創(chuàng)新，不斷突破關(guān)鍵量測(cè)設(shè)備的能力，推進(jìn)測(cè)試能力整合與架構(gòu)創(chuàng)新。概倫電子希望利用自身在半導(dǎo)體參數(shù)量測(cè)和技術(shù)開發(fā)等領(lǐng)域的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合已具備國(guó)際市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵EDA工具，進(jìn)行DTCO的應(yīng)用和創(chuàng)新探索，推動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)體參數(shù)量測(cè)的創(chuàng)新和發(fā)展。

深耕不輟，探索技術(shù)創(chuàng)新

自第一臺(tái)9812D低頻噪聲分析儀問(wèn)世以來(lái)，概倫電子始終堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為核心引擎，不斷推出具有行業(yè)先進(jìn)性能的半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試設(shè)備。2021年，概倫電子依托多年產(chǎn)學(xué)研合作優(yōu)勢(shì)，與多所科研院所、頂尖高校開展緊密合作，先后攻克多項(xiàng)短脈沖測(cè)試技術(shù)難題，實(shí)現(xiàn)了100ns級(jí)別的短脈沖IV（PIV）高精度測(cè)量。針對(duì)晶圓級(jí)半導(dǎo)體器件自動(dòng)化測(cè)試需求，概倫電子于2023年推出了低漏電矩陣開關(guān)模塊FS821，可實(shí)現(xiàn)100fA偏移電流，支持最大200V/1A直流范圍，性能指標(biāo)可達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。概倫電子還在業(yè)界首創(chuàng)商用級(jí)動(dòng)態(tài)交流噪聲測(cè)試系統(tǒng)9812AC，填補(bǔ)了行業(yè)產(chǎn)品在相關(guān)應(yīng)用領(lǐng)域的空白，為探索半導(dǎo)體研究新領(lǐng)域提供了全新的專業(yè)工具。

概倫電子現(xiàn)場(chǎng)展示半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試與全自動(dòng)解決方案

目前概倫電子的測(cè)試產(chǎn)品和解決方案已廣泛服務(wù)于國(guó)內(nèi)外上百家領(lǐng)先集成電路企業(yè)，覆蓋科研院所、芯片設(shè)計(jì)、晶圓代工以及IDM等多個(gè)領(lǐng)域的企事業(yè)單位，在先進(jìn)工藝和器件研發(fā)和高性能模擬電路設(shè)計(jì)等多種應(yīng)用場(chǎng)景都有大量的成功部署案例。

在新一輪產(chǎn)業(yè)變革與國(guó)際環(huán)境的發(fā)展趨勢(shì)下，我國(guó)科學(xué)儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展正在快速步入新階段。在這條新征程之上，概倫電子將持續(xù)圍繞工藝與設(shè)計(jì)協(xié)同優(yōu)化進(jìn)行技術(shù)和產(chǎn)品的戰(zhàn)略布局，持續(xù)對(duì)核心數(shù)據(jù)獲取技術(shù)和相關(guān)量測(cè)設(shè)備進(jìn)行研發(fā)、演進(jìn)和拓展，與生態(tài)伙伴一起，不斷探索測(cè)試儀器技術(shù)新邊界，激發(fā)半導(dǎo)體應(yīng)用新潛力，共同推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)邁向新的發(fā)展階段。