導(dǎo)致光刻膠變色的原因有哪些？
存儲(chǔ)時(shí)間
正膠和圖形反轉(zhuǎn)膠在存儲(chǔ)數(shù)月后會(huì)變暗，而且隨著儲(chǔ)存溫度升高而加速。因?yàn)樵擃?lèi)型光刻膠含有的光活性化合物形成偶氮染料，在 可見(jiàn)光譜的部分具有很強(qiáng)的吸收能力，對(duì)紫外靈敏度沒(méi)有任何影響。這種變色過(guò)程非常緩慢，因此通常只有在更換新批次的光刻膠時(shí)才會(huì)被注意到。
污染
光刻膠與水或不適合的溶劑(如異丙醇)接觸，或經(jīng)冷凍后的抗蝕劑可能會(huì)改變其顏色。在這種情況下，光刻膠的變質(zhì)是不可避免的。
襯底和光刻膠厚度
在不同的基材上，光刻膠膜會(huì)呈現(xiàn)不同的顏色。特別是對(duì)于薄的光刻膠薄膜，僅改變10nm的抗蝕劑薄膜厚度就會(huì)引起光刻膠薄膜的干涉色變。這種厚度的變化可能是由溶劑揮發(fā)、光刻膠老化、溫度或空氣濕度的變化、或涂層設(shè)備或參數(shù)的變化引起的。
化學(xué)侵蝕
含HNO3蝕刻液的侵蝕或高溫烘烤可導(dǎo)致光刻膠結(jié)構(gòu)的變色（褐色）。
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審核編輯 黃宇
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