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Lumencor固態(tài)光源在材料科學(xué)中的應(yīng)用

上海昊量光電設(shè)備有限公司 ? 2024-10-24 08:04 ? 次閱讀
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Lumencor的固態(tài)照明產(chǎn)品有助于在生產(chǎn)速度下使用明暗場(chǎng)顯微鏡和其他工業(yè)計(jì)量應(yīng)用進(jìn)行晶圓缺陷檢測(cè)的精確測(cè)量。在這些應(yīng)用中,一致的性能和可靠性是至關(guān)重要的。因此,Lumencor的精密制造工藝將保證每一臺(tái)顯微鏡光引擎都能展現(xiàn)相同無(wú)與倫比的性能。光引擎通過(guò)部署在專用微處理器上的控制軟件集成了LED、光管以及激光器陣列。在這個(gè)模塊化和靈活性的平臺(tái)上,可以很容易定制光功率、亮度、光譜范圍和角度分布等性能特征,以滿足工業(yè)計(jì)量應(yīng)用的各種要求。

農(nóng)業(yè)及食品檢測(cè) Agriculture and Food Inspection

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檢查食品、飲料及其相關(guān)包裝需要具備獲取和處理圖像的能力,以獲得有關(guān)尺寸、形狀、顏色、缺陷和完整性等參數(shù)的信息。為此,關(guān)鍵是優(yōu)化照明強(qiáng)度,均勻性和幾何形狀,以獲得具有良好的對(duì)比度和信噪比的顯微圖像。此外,有機(jī)和無(wú)機(jī)材料的光吸收特性各不相同,這使得為這些應(yīng)用選擇合適的照明波長(zhǎng)成為一項(xiàng)挑戰(zhàn)。食品在包裝之前,必須經(jīng)過(guò)種植和收獲。當(dāng)然,光是植物生長(zhǎng)的基礎(chǔ)。Lumencor的固態(tài)照明技術(shù)在應(yīng)對(duì)這些食品檢驗(yàn)和質(zhì)量控制挑戰(zhàn)方面處于領(lǐng)先地位。

常用產(chǎn)品型號(hào)

SOLA、AURA、SPECTRA、MAGMA

光固化和光刻 Photocuring and Photolithography

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固態(tài)顯微鏡光源是控制引發(fā)光聚合反應(yīng)的理想光源。光聚合反應(yīng)是廣泛應(yīng)用的非接觸、原位制造和微結(jié)構(gòu)成型技術(shù)的基礎(chǔ)。大量的光聚合反應(yīng)通常被稱為光固化,而在光刻技術(shù)中,空間選擇性光聚合是通過(guò)遮蔽照明場(chǎng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。光聚合的程度受光照強(qiáng)度和持續(xù)時(shí)間的控制。Lumencor的固態(tài)照明系統(tǒng)以微秒計(jì)時(shí)、反饋調(diào)節(jié)和光輸出計(jì)量的形式提供精確的照明控制。

常用產(chǎn)品型號(hào)
SOLA、RETRA

光伏和太陽(yáng)能 Photovoltaics and Solar Energy:

人造光源對(duì)于光伏器件制造中的性能驗(yàn)證,以及新光伏材料開(kāi)發(fā)中的光電導(dǎo)性和量子效率等特性的表征至關(guān)重要。傳統(tǒng)上,光伏器件的表征通常采用氙弧燈或鹵鎢燈來(lái)近似太陽(yáng)光譜。然而,它們的光譜輸出不易于控制調(diào)整,并且由于其工作壽命也相對(duì)較短,長(zhǎng)時(shí)間(數(shù)周至數(shù)月)的測(cè)試將受到限制。Lumencor的高性能照明器消除了這些限制,并引入了新的功能,例如通過(guò)組合多達(dá)21個(gè)離散固態(tài)光源的輸出來(lái)獲得任何所需的光譜分布。

常用產(chǎn)品型號(hào)
SOLA、MAGMA、RETRA

質(zhì)量控制和測(cè)試 Quality Control and Testing:

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在質(zhì)量控制和測(cè)試應(yīng)用中,一致的性能和可靠性是對(duì)顯微鏡照明的基本要求?;」鉄艉桶谉霟舨环线@些要求。并且燈泡的使用壽命有限,每200-2000小時(shí)就需要更換和重新校準(zhǔn)。此外,不同燈泡的輸出功率可能有很大的差異,而且計(jì)算機(jī)控制操作的能力也非常有限。Lumencor的固態(tài)照明技術(shù)消除了這些限制,并增加了創(chuàng)新的高性能功能。固態(tài)光引擎包含光源陣列,可提供任何所需的光譜分布。這種分布可以通過(guò)計(jì)算機(jī)的控制,調(diào)整光源強(qiáng)度進(jìn)一步細(xì)化。Lumencor的第三代照明系統(tǒng)是精密的光引擎,集成了板載微處理器,提供校準(zhǔn)光輸出和實(shí)時(shí)性能監(jiān)控。

常用產(chǎn)品型號(hào)
SORA、AURA、SPECTRA

半導(dǎo)體檢測(cè) Semiconductor Inspection:

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控制光的空間、光譜和時(shí)間特性對(duì)于半導(dǎo)體制造中的缺陷分析和設(shè)備測(cè)試變得越來(lái)越重要。顯微鏡弧光燈和白熾燈受限于有限的使用壽命和缺乏集成到模塊化設(shè)計(jì)框架中的靈活性。儀器設(shè)計(jì)人員、工程師和制造商正轉(zhuǎn)向Lumencor的固態(tài)照明技術(shù),以獲得可持續(xù)、高性能的解決方案和穩(wěn)定耐用的制造產(chǎn)品。

常用產(chǎn)品型號(hào)
AURA、SPECTRA、MAGMA、RETRA

顯微鏡

光學(xué)顯微鏡是細(xì)胞生物學(xué)的一項(xiàng)核心研究技術(shù)。然而,它的應(yīng)用遠(yuǎn)遠(yuǎn)不止如此,而是遍及到需要微米尺度結(jié)構(gòu)信息的所有研究、制造和測(cè)試領(lǐng)域。光學(xué)顯微鏡包括多種特定的技術(shù),下面列出了其中的一些。Lumencor的固態(tài)光引擎在所有這些方面都表現(xiàn)出色。

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寬場(chǎng)熒光顯微鏡是熒光顯微鏡中最少專業(yè)性也是最常見(jiàn)的一種。用于顯微鏡的汞弧光源和金屬鹵化物光源多年來(lái)無(wú)處不在,但因其性能不穩(wěn)定而備受困擾,如今它們已在很大程度上被無(wú)汞、清潔和綠色的高性能固態(tài)光引擎所取代。固態(tài)光源又分為白光輸出和選色輸出兩種。白光光源是汞弧燈和金屬鹵化物等的直接替代品,具有優(yōu)越的穩(wěn)定性,更長(zhǎng)的使用壽命,更靈敏的控制特性和更低的運(yùn)行成本。而可以選擇顏色輸出的光引擎消除了多色成像方案中機(jī)械式濾光片切換的需求,從而實(shí)現(xiàn)更快的數(shù)據(jù)采集。

共聚焦顯微鏡通過(guò)對(duì)激發(fā)光進(jìn)行空間限制來(lái)提供三維空間信息。因此,與寬場(chǎng)顯微鏡相比,共聚焦顯微鏡需要更高的初始光強(qiáng)。因此,在共聚焦顯微鏡的應(yīng)用中,激光光源通常比LED更受青睞。

超分辨率顯微鏡提供20 - 200nm范圍內(nèi)的空間分辨率,超出了寬視場(chǎng)熒光顯微鏡(~ 200nm)的限制。與共聚焦顯微鏡一樣,需要空間受限的激發(fā)光,通常首選激光光源。

透射光學(xué)顯微鏡通常需要比熒光顯微鏡更低的光強(qiáng),因此可以使用更小的被動(dòng)冷卻光源。多年來(lái)占主導(dǎo)地位的鹵鎢燈已經(jīng)被固態(tài)顯微鏡光源所取代。很大程度上是相同的原因,固態(tài)顯微鏡光源在寬視場(chǎng)熒光顯微鏡也已經(jīng)取代了汞弧燈。特別是,固態(tài)光源的光譜分布(色溫)不隨輸出光強(qiáng)而變化,這是保持色彩一致性的一個(gè)重要優(yōu)勢(shì)。

暗場(chǎng)顯微鏡利用空間濾波排除未散射的光,從而提供樣品的散射光圖像。在暗場(chǎng)(DF)的照明下,平坦的表面呈現(xiàn)暗色,而裂縫、孔隙和蝕刻邊界等特征則會(huì)增強(qiáng)。因此暗場(chǎng)照明可以用于檢測(cè)不透明、未染色材料(如半導(dǎo)體晶圓)中的缺陷。由于照明必須經(jīng)過(guò)空間濾波,因此需要比透射光學(xué)顯微鏡所使用的光源輸出強(qiáng)度更高的光源。

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