3月12日消息，近日，中建四局承建的廣州增芯12英寸先進(jìn)智能傳感器晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目順利通過竣工驗(yàn)收。 項(xiàng)目位于廣東省廣州市增城區(qū)，總建筑面積約20萬平方米，建設(shè)內(nèi)容包括生產(chǎn)廠房、綜合動力站、硅烷站、甲類倉庫、危廢庫、大宗氣體站、生產(chǎn)調(diào)度樓等。作為全國首條12英寸智能傳感器晶圓制造產(chǎn)線項(xiàng)目，建成后將具備年產(chǎn)24萬片12英寸晶圓的生產(chǎn)能力，投用后生產(chǎn)的產(chǎn)品為力學(xué)、聲學(xué)、微流控、生物等傳感器件及配套ASIC芯片，將逐步形成產(chǎn)業(yè)聚集效應(yīng)，為國內(nèi)智能傳感器及相關(guān)產(chǎn)業(yè)提供高質(zhì)量發(fā)展支撐，助力“廣東強(qiáng)芯”工程建設(shè)。

增芯項(xiàng)目由廣州智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團(tuán)發(fā)起，于2021年4月成立，定位為國內(nèi)第一家專業(yè)定制化12英寸傳感器晶圓廠，針對智能化、微型化等物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用領(lǐng)域中的核心器件（如力學(xué)、聲學(xué)、微流控、生物等傳感器件及配套ASIC芯片等），打造集研發(fā)、量產(chǎn)制造、封測與應(yīng)用一體的先進(jìn)制造平臺，產(chǎn)品包括三大類工藝產(chǎn)品MEMS、BCD及邏輯工藝，對廣州市及廣東省的集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義。

據(jù)官網(wǎng)介紹，增芯科技按照“一次規(guī)劃、分步實(shí)施”原則，計劃用5年時間投資370億元，在廣州市增城區(qū)建設(shè)兩座智能化晶圓廠，總產(chǎn)能達(dá)到12萬片/月。

其中，增芯項(xiàng)目第一座晶圓廠（FAB1）分兩期，第一期產(chǎn)能2萬片/月，總投資70億元；第二期產(chǎn)能4萬片/月，總投資100億元；第二座晶圓廠（FAB2）為第三期，產(chǎn)能6萬片/月，總投資200億元。第一座晶圓廠預(yù)計2026年滿產(chǎn)，第二座晶圓廠預(yù)計2027年滿產(chǎn)。

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審核編輯 黃宇