珠海首條自主6英寸MEMS產(chǎn)線投產(chǎn)

深耕壓電MEMS工藝及關(guān)鍵技術(shù)

1月15日，云際芯光（珠海）微電子有限公司（簡(jiǎn)稱：云際芯光）首條自主建設(shè)的6英寸MEMS芯片生產(chǎn)基地通線儀式在珠海市金灣區(qū)盛大舉行。云際芯光董事長(zhǎng)、珠海湖南商會(huì)會(huì)長(zhǎng)、金灣區(qū)副區(qū)長(zhǎng)和珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)等出席活動(dòng)并致辭。

云際芯光6英寸MEMS芯片生產(chǎn)線項(xiàng)目，位于珠海市金灣區(qū)，從投建啟動(dòng)到貫通僅用時(shí)約一年，實(shí)現(xiàn)了在珠海特色工藝半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的關(guān)鍵突破。

活動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)，通過(guò)企業(yè)宣傳片，帶領(lǐng)嘉賓了解了云際芯光從技術(shù)攻關(guān)到產(chǎn)線落成的發(fā)展歷程，詮釋了“以科技創(chuàng)新賦能產(chǎn)業(yè)升級(jí)”的堅(jiān)定信念與產(chǎn)業(yè)抱負(fù)。

活動(dòng)伊始，云際芯光董事長(zhǎng)王慶初表示，項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)在一年內(nèi)高效完成了從規(guī)劃藍(lán)圖到工藝調(diào)試的全過(guò)程，創(chuàng)下“建設(shè)周期最短、通線速度最快”的行業(yè)新紀(jì)錄。該生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)了壓電MEMS芯片領(lǐng)域從設(shè)計(jì)、工藝到規(guī)模生產(chǎn)的全鏈條自主可控，有效填補(bǔ)了珠海特色工藝半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的空白，并為珠海集成電路產(chǎn)業(yè)注入了堅(jiān)實(shí)力量。

此次通線標(biāo)志著公司已構(gòu)建設(shè)計(jì)、工藝到制造的全鏈條閉環(huán)，顯著提升市場(chǎng)響應(yīng)與產(chǎn)品交付能力，為未來(lái)快速發(fā)展奠定制造基礎(chǔ)。王慶初指出，公司將持續(xù)加大研發(fā)投入，聚焦“傳感+通信+頻率”三大方向，拓展產(chǎn)品矩陣，推動(dòng)MEMS芯片在更多新興領(lǐng)域的創(chuàng)新應(yīng)用。

其次，珠海湖南商會(huì)會(huì)長(zhǎng)郭俊德表示，此次產(chǎn)線順利通線，標(biāo)志著企業(yè)邁入全新發(fā)展階段。期待云際芯光以此為契機(jī)，持續(xù)深耕MEMS領(lǐng)域，充分發(fā)揮技術(shù)及產(chǎn)能優(yōu)勢(shì)，不斷推出具備競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品與解決方案，實(shí)現(xiàn)更廣闊發(fā)展格局。

珠海市金灣區(qū)副區(qū)長(zhǎng)敖煒致辭表示，金灣區(qū)堅(jiān)持“工業(yè)立區(qū)、智造強(qiáng)區(qū)”，將集成電路作為“5+2+N”現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系的核心賽道。云際芯光產(chǎn)線的建成，為金灣完善集成電路產(chǎn)業(yè)鏈、推動(dòng)上下游企業(yè)集聚提供了關(guān)鍵支撐。希望云際芯光以此為契機(jī)，扎根金灣、深耕創(chuàng)新，與區(qū)域協(xié)同發(fā)展，共同打造具有競(jìng)爭(zhēng)力的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高地，為新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展注入強(qiáng)勁動(dòng)能。

隨后，珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)施洋表示，云際芯光自2023年扎根珠海，專注壓電MEMS芯片領(lǐng)域，攜手天津大學(xué)高校構(gòu)建了研發(fā)設(shè)計(jì)到規(guī)模制造的全鏈條技術(shù)體系。其四大產(chǎn)品矩陣，技術(shù)指標(biāo)已對(duì)標(biāo)國(guó)際一流。期待云際芯光以產(chǎn)線通線為新起點(diǎn)，加大科研投入，加快產(chǎn)品創(chuàng)新，深化產(chǎn)學(xué)研合作，拓展MEMS技術(shù)應(yīng)用，打造更多具有全球競(jìng)爭(zhēng)力的硬核產(chǎn)品。讓我們政企同心，攜手將珠海建設(shè)成為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的特色工藝半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)化高地，為制造強(qiáng)國(guó)貢獻(xiàn)珠海力量。

繼而，天津大學(xué)副教授、博士生導(dǎo)師、云際芯光技術(shù)專家崔魏巍為大家進(jìn)行產(chǎn)品推介，展現(xiàn)了產(chǎn)線核心技術(shù)矩陣與產(chǎn)品藍(lán)圖。他介紹，SMR濾波芯片：應(yīng)用于5G/6G、衛(wèi)星通信等領(lǐng)域，已推出50余款產(chǎn)品，頻率覆蓋1GHz-8.5GHz。PMEMS聲學(xué)傳感器：基于自主研發(fā)的IPP芯片架構(gòu)，性能媲美傳統(tǒng)陶瓷傳感器，且體積更小、可靠性更高，適用于水聽(tīng)、測(cè)距、流量檢測(cè)等場(chǎng)景。高基頻石英晶振：采用自主QMEMS工藝，頻率可達(dá)70-300MHz，其中156.25MHz產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)對(duì)國(guó)際主流型號(hào)的國(guó)產(chǎn)替代。高精度壓力傳感器：目標(biāo)精度0.01%FS，適用于工業(yè)監(jiān)測(cè)、高端裝備等領(lǐng)域。

同時(shí)，公司擁有完整的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，目前已申報(bào)專利30余項(xiàng)，并建成涵蓋設(shè)計(jì)、工藝、封裝測(cè)試的全流程研發(fā)體系。產(chǎn)線具備光刻、薄膜、刻蝕、鍵合等全流程工藝能力，可實(shí)現(xiàn)SMR濾波器、石英晶振等產(chǎn)品的規(guī)?；a(chǎn)。

值此盛典，云際芯光與多家行業(yè)領(lǐng)先客戶達(dá)成戰(zhàn)略合作，這既是對(duì)云際芯光技術(shù)實(shí)力、產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)能潛力的高度認(rèn)可，也為產(chǎn)線通線后的快速爬坡與高效運(yùn)行注入了強(qiáng)勁市場(chǎng)動(dòng)力。

未來(lái)，云際芯光將繼續(xù)深化壓電MEMS技術(shù)研發(fā)，推動(dòng)更多國(guó)產(chǎn)芯片走向市場(chǎng)，為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主化與高端化注入“芯”動(dòng)力。