隨著信息技術(shù)的高速發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)日益成為全球最重要的產(chǎn)業(yè)之一。目前，半導(dǎo)體設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化需求急劇上升，得益于半導(dǎo)體行業(yè)的蓬勃發(fā)展和國(guó)家政策的支持。在此大背景下，安川電機(jī)深入對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備和工藝的研究，致力于為客戶提供優(yōu)質(zhì)的解決方案。

而清洗工藝貫穿于晶圓制造的整個(gè)過程，是保證良品率的關(guān)鍵之一。清洗工藝的好壞不僅影響表面的潔凈度，還會(huì)對(duì)芯片的電學(xué)性能、穩(wěn)定性等產(chǎn)生直接影響。

清洗工藝傳統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖：## 關(guān)于安川中空伺服電機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

隨著信息技術(shù)的高速發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)日益成為全球最重要的產(chǎn)業(yè)之一。目前，半導(dǎo)體設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化需求急劇上升，得益于半導(dǎo)體行業(yè)的蓬勃發(fā)展和國(guó)家政策的支持。在此大背景下，安川電機(jī)深入對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備和工藝的研究，致力于為客戶提供優(yōu)質(zhì)的解決方案。

而清洗工藝貫穿于晶圓制造的整個(gè)過程，是保證良品率的關(guān)鍵之一。清洗工藝的好壞不僅影響表面的潔凈度，還會(huì)對(duì)芯片的電學(xué)性能、穩(wěn)定性等產(chǎn)生直接影響。

清洗工藝傳統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖：

解決方案：

1、空間優(yōu)化：

以往的結(jié)構(gòu)是伺服通過皮帶輪裝置連接中空軸，結(jié)構(gòu)相對(duì)復(fù)雜，占據(jù)空間。通過采用中空伺服電機(jī)，可簡(jiǎn)化機(jī)械結(jié)構(gòu)以實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間的目的。

2、粉塵減少

中空部的轉(zhuǎn)動(dòng)軸采用不銹鋼，并選用低發(fā)塵規(guī)格的特殊潤(rùn)滑脂，有效地減少了粉塵的發(fā)生。

3、高速高精度

搭載了24bit高分辨率編碼器，其中SGM7T-08A最大速度可達(dá)3000min-1。

中空電機(jī)的規(guī)格：

綜上，安川中空伺服電機(jī)通過結(jié)構(gòu)創(chuàng)新與性能優(yōu)化，為半導(dǎo)體制造提供了高效、潔凈、穩(wěn)定的驅(qū)動(dòng)解決方案，助力行業(yè)突破精密制造瓶頸，加速國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。

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審核編輯 黃宇