7月14日中午，隨著首臺8英寸生產(chǎn)線光刻機(jī)設(shè)備被吊車移進(jìn)位于高新區(qū)的重慶奧松半導(dǎo)體特色芯片產(chǎn)業(yè)基地（下稱“奧松半導(dǎo)體項(xiàng)目”），標(biāo)志著這一項(xiàng)目全面進(jìn)入設(shè)備安裝調(diào)試的快車道，也為其順利達(dá)成既定目標(biāo)奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)——今年8月底通線試產(chǎn)，第四季度實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能爬坡并交付客戶。

光刻機(jī)進(jìn)入百級潔凈黃光區(qū)廠房

奧松半導(dǎo)體項(xiàng)目作為重慶首個8英寸MEMS特色芯片全產(chǎn)業(yè)鏈項(xiàng)目，計(jì)劃總投資35億元，包含8英寸特色傳感器芯片量產(chǎn)線、8英寸MEMS特色晶圓快速研發(fā)線、智能傳感器創(chuàng)新研發(fā)中心、車規(guī)級傳感器可靠性檢測中心、產(chǎn)學(xué)研科研中心及奧松半導(dǎo)體研發(fā)辦公大樓等，技術(shù)能力覆蓋各類MEMS特色工藝，可實(shí)現(xiàn)各類MEMS半導(dǎo)體傳感器產(chǎn)品從研發(fā)到量產(chǎn)的無縫銜接，對重慶乃至整個集成電路行業(yè)都具有深遠(yuǎn)意義。

“光刻機(jī)是整個芯片制造過程中最關(guān)鍵的核心設(shè)備，首臺光刻機(jī)成功搬入，標(biāo)志著我們產(chǎn)線正式進(jìn)入設(shè)備安裝調(diào)試階段，離正式通線試產(chǎn)并量產(chǎn)指日可待?！眾W松半導(dǎo)體項(xiàng)目負(fù)責(zé)人李忠告訴上游新聞記者，接下來幾天將陸續(xù)搬入用于晶圓制造、封裝測試、模塊生產(chǎn)、系統(tǒng)應(yīng)用等各類工藝和輔助設(shè)備，全部設(shè)備計(jì)劃于月底前搬入完成，第二臺光刻機(jī)也將于8月搬入。待一期項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后，將形成每月10000~20000片晶圓的產(chǎn)能。

運(yùn)載光刻機(jī)各部件的貨柜車進(jìn)入廠區(qū)

據(jù)介紹，今年奧松半導(dǎo)體項(xiàng)目圍繞“7月光刻機(jī)進(jìn)場、8月底通線試產(chǎn)、第四季度產(chǎn)能爬坡并陸續(xù)交付客戶”的階段性目標(biāo)，同步推進(jìn)竣工驗(yàn)收、產(chǎn)能通線、工廠運(yùn)營、良率提升和產(chǎn)品交付等工作，目前公司為項(xiàng)目順利通線投產(chǎn)已儲備和投用了兩百余名員工。同時將持續(xù)加大新產(chǎn)品、新技術(shù)研發(fā)投入力度，進(jìn)一步拓展客戶和市場。

上游新聞記者 陳力