Process Control（E-PC）是Exensio數(shù)據(jù)分析平臺的四大主要模塊之一。作為一款在行業(yè)內(nèi)處于領(lǐng)先地位的實(shí)時(shí)控制和分析工具，它為集成設(shè)備制造商（IDMs）、代工廠（Fab）、中段工藝(bumping)以及基板廠提供了故障檢測與分類（FDC）功能。借助這一功能，企業(yè)能夠在工具和工廠兩個層面，精準(zhǔn)地識別、診斷并預(yù)防各類工具問題 ，有效保障生產(chǎn)流程的順暢與穩(wěn)定。

助力工業(yè) 4.0，引領(lǐng)半導(dǎo)體制造革新

專為工業(yè)4.0量身打造的 Exensio-Process Control（E-PC）功能模塊，借助實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)分析，企業(yè)在半導(dǎo)體制造過程中，能夠精準(zhǔn)達(dá)成產(chǎn)能最大化、設(shè)備性能最優(yōu)化，以及將浪費(fèi)降至最低限度。

值得一提的是，E-PC與現(xiàn)有的工藝管控工具能完美協(xié)同并行，彼此運(yùn)作毫無干擾，實(shí)現(xiàn)無縫對接。對于新建FAB（晶圓廠）企業(yè)而言，E-PC更是得力助手，它助力企業(yè)以更高效、便捷的方式，使新建FAB在性能上迅速與成熟FAB看齊，快速提升新建 FAB 的競爭力，為企業(yè)在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的發(fā)展注入強(qiáng)勁動力。

FDC領(lǐng)航者 ：超4W+臺工具管控，支持?jǐn)?shù)百種制造設(shè)備

Process Control模塊是FDC領(lǐng)域的市場領(lǐng)導(dǎo)者，在全球6英寸、8英寸和12英寸晶圓廠中，由E-PC管理的制造工具超過40,000臺。支持?jǐn)?shù)百種品牌和型號的半導(dǎo)體制造設(shè)備。

聚焦Fab核心模型：強(qiáng)大高效，幫助決策

普迪飛擁有獨(dú)特的自上而下策略，構(gòu)建晶圓廠模型。以Fab為中心的流程控制方法，借助DEX（數(shù)據(jù)交換網(wǎng)絡(luò)）自動采集并融合前端與后端數(shù)據(jù)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)極為強(qiáng)大的特征剖析以及故障診斷。與 "按工具 "的分散式部署相比，這種方法提高了部署效率，助力企業(yè)精準(zhǔn)做出決策，嚴(yán)格把控流程 。

制程管控：偏移診斷精準(zhǔn)把控與變異優(yōu)化策略

通過FDC工具傳感器水平診斷和深入分析自動檢測偏移事件，以執(zhí)行流程和計(jì)量轉(zhuǎn)變、參數(shù)漂移、預(yù)防性維護(hù)和耗材事件檢測。采用先進(jìn)的診斷技術(shù)進(jìn)行一步式參數(shù)篩選，以驅(qū)動響應(yīng)相關(guān)性，并反饋給工具控制（動態(tài)SPC），從而提高產(chǎn)量、設(shè)備參數(shù)和計(jì)量水平。

Process Control功能亮點(diǎn)

工具和工藝偏差最多可減少40%

制程能力指數(shù)（CPK）可提升至多 20%，實(shí)現(xiàn)更緊密的分布

強(qiáng)大的語義模型賦能，工作效率提升高達(dá)10倍

借助基于追溯的工具匹配，工藝轉(zhuǎn)移及晶圓廠產(chǎn)能提升速度可提前 6 個月

交互式分析環(huán)境，自動可視化數(shù)據(jù)報(bào)告

在線控制與離線分析相結(jié)合（涵蓋實(shí)時(shí)、追溯及匯總 FDC）

通過預(yù)測性維護(hù)降低維護(hù)資源成本和需求

協(xié)同AI/ML，提供完整且先進(jìn)的解決方案（AIM）

FDC數(shù)據(jù)全方位挖掘，提升良率的關(guān)鍵鑰匙

FDC 數(shù)據(jù)的運(yùn)用分為三個層次，層層推進(jìn)，最終指向良率提升這一核心目標(biāo)。

首先，Online Control 的階段，E-PC憑借靈活的數(shù)據(jù)采集方式、高效的建模效率、豐富的算法以及簡潔的操作界面，在報(bào)警時(shí)還能提供raw trace輔助判斷，且后臺服務(wù)與數(shù)據(jù)庫具備高可靠性，為生產(chǎn)過程監(jiān)控奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

其次，針對 FDC 數(shù)據(jù)進(jìn)行深層次的挖掘，不僅能為新機(jī)臺的發(fā)布設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)， PM前后的機(jī)臺進(jìn)行有效管理，其報(bào)表功能（如 OOC report 等）豐富多樣，支持內(nèi)嵌和自定義報(bào)表，并且能自動調(diào)整Control Spec，進(jìn)一步挖掘數(shù)據(jù)價(jià)值，優(yōu)化生產(chǎn)管理。

最終，落腳于良率提升這一關(guān)鍵目標(biāo)。通過跨良率/量測Vs FDC等不同數(shù)據(jù)類型的分析，豐富多樣的分析手段，以及內(nèi)嵌和自建模型等方式，為online control系統(tǒng)提供具有指導(dǎo)意義的spec反饋，從而實(shí)現(xiàn)良率的提升。這一過程意義重大，良率提升可直接帶來經(jīng)濟(jì)效益的增長，使企業(yè)在市場競爭中更具優(yōu)勢，同時(shí)也能促進(jìn)資源的高效利用，助力企業(yè)可持續(xù)發(fā)展。